[实用新型]一种环形靶材循环冷却装置

说明书

本实用新型涉及PVD真空镀膜技术领域，公开了一种环形靶材循环冷却装置，包括冷却套，冷却套一端设置有靶材座，冷却套上设置有进液口，靶材座设置为凸台结构，冷却套内沿其轴向设置有与进液口连通的冷却管，靶材座内设置有与冷却管密封连通的冷却腔，冷却腔呈环形设置并贴近靶材座凸出部的外圆周面，冷却套内沿其轴向还设置有回流芯轴，回流芯轴呈空心设置，回流芯轴贴近靶材座的一端设置有回流管，回流管与冷却腔连通。本实用新型可实现对环形靶材的快速且均匀冷却的目的。

技术领域

本实用新型涉及PVD真空镀膜技术领域，具体是指一种环形靶材循环冷却装置。

背景技术

PVD即物理气相沉积：指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。PVD基本方法：真空蒸发、溅射、离子镀(空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀)。

靶材在使用时，腔体均为真空高温腔室，机台内需要冷却结构，保证设备在使用过程达到冷却效果，并保证绝缘冷却，不能再腔室内产生导通现象。客户端马达带着阴极驱动带着旋转靶材，靶材在腔体内旋转，现有的冷却方式是将靶材放在靶材座上，通过冷却靶材座间接冷却靶材，而针对环形靶材做冷却处理时，由于环形靶材与靶材座的接触面积较小，导致冷却不充分。

实用新型内容

基于以上问题，本实用新型提供了一种环形靶材循环冷却装置。本实用新型可实现对环形靶材的快速且均匀冷却的目的，通过将靶材座设置为凸台，并在冷却套内设置冷却管和回流芯轴，靶材座内设置冷却腔，解决了现有环形靶材冷却不均匀，冷却效果不好的问题。

为解决以上技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种环形靶材循环冷却装置，包括冷却套，所述冷却套一端设置有靶材座，冷却套上设置有进液口，所述靶材座设置为凸台结构，所述冷却套内沿其轴向设置有与进液口连通的冷却管，所述靶材座内设置有与冷却管密封连通的冷却腔，所述冷却腔呈环形设置并贴近靶材座凸出部的外圆周面，所述冷却套内沿其轴向还设置有回流芯轴，所述回流芯轴呈空心设置，回流芯轴贴近靶材座的一端设置有回流管，所述回流管与冷却腔连通。

在本实用新型中，在使用环形靶材时可将靶材套设在靶材座的凸出部，然后通过冷却套上的进液口注入冷却液，冷却液流经冷却管进入靶材座内的冷却腔内，由于冷却腔呈环形设置并贴近靶材座凸出部的外圆周面，使得冷却液能更好的与靶材座进行热交换，换热后的冷却液经过回流管流入回流芯轴内，然后通过回流芯轴开口的一端流入收集机构，如此循环往复对靶材座上的环形靶材进行有效且均已的冷却。本实用新型可实现对环形靶材的快速且均匀冷却的目的，通过将靶材座设置为凸台，并在冷却套内设置冷却管和回流芯轴，靶材座内设置冷却腔，解决了现有环形靶材冷却不均匀，冷却效果不好的问题。

作为一种优选的方式，冷却套贴近靶材座的一端设置有法兰盘，所述冷却套通过法兰盘与靶材座固定连接，所述法兰盘与靶材座之间设置有密封圈。

作为一种优选的方式，冷却管设置为两个并位于同一水平面，所述回流管位于回流芯轴上端，且所述回流芯轴延伸入靶材座的一端封口设置。

作为一种优选的方式，进液口位于冷却套上端并沿其径向设置，所述进液口延伸入冷却套的一端设置有呈半圆形的引流管并连通，所述引流管的两端分别与两个冷却管连通。

作为一种优选的方式，冷却管与冷却腔采用卡接，所述冷却管卡入冷却腔的一端套设有橡胶圈，所述冷却管通过橡胶圈与冷却腔密封卡接。

作为一种优选的方式，回流芯轴上还套设有隔热套，回流芯轴远离靶材座的一端套设有螺母，所述冷却套远离靶材座的一端设置有封盖。

作为一种优选的方式，靶材座、法兰盘、回流芯轴和冷却套均采用工程塑料制成。