[实用新型]一种用于PVD加工的螺旋式挂具

说明书

一种用于PVD加工的螺旋式挂具，该螺旋式挂具安装于真空镀膜设备内，主要包括主杆、支杆及托架，所述托架为螺旋形结构，所述主杆为竖直设置的直杆，主杆上设置有至少一组支杆，每组支杆包括上支杆和下支杆，且所述上支杆和下支杆分别固定在主杆的上下端部；上支杆和下支杆的一端与主杆固定连接，另一端通过锁套分别与所述托架的两端连接；所述上支杆和下支杆上分别设置有一个用于卡接被镀膜产品的卡簧；它具有结构简单，可适应更多长度规格的软管类的PVD表面处理的螺旋式挂具，有效提升设备的利用率，满足更多的产品需求等特点。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜辅助设备领域，具体涉及一种用于PVD加工的螺旋式挂具。

背景技术

PVD(物理气相沉积)镀膜中需要将镀膜工件悬挂在镀膜真空腔中进行真空镀膜，目前，镀膜工艺广泛应用于光学、半导体等诸多领域。现有镀膜工艺通常以物理蒸镀法为主，其操作方法一般是将待镀膜工件洗净后置于一支撑机构上，送入镀膜机进行加热及抽真空。在待镀膜工件周围环境形成高真空状态后，加热薄膜材料，以将薄膜材料由固态转化为气态或离子态，并由蒸发源穿越空间，抵达待镀膜工件表面，在表面上沉积而逐渐形成薄膜。

然而，现有的大多数支撑机构的结构对工件放置方式限制较大，且镀膜机因高真空且高温的限制难以加装其它动力装置以驱动支撑机构在镀膜过程中带动工件移动或转动，此外，目前PVD设备内腔高度为1.3米，对表面处理的工件最长只能1.2米，特别是软管类的产品在长度方面都在于1.2米以上，在生产时的局限性很大，无法满足生产和产品的需求。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种结构简单，可适应更多长度规格的软管类的PVD表面处理的螺旋式挂具，有效提升设备的利用率，满足更多的产品需求。

本实用新型的目的是通过如下技术方案来完成的，一种用于PVD加工的螺旋式挂具，该螺旋式挂具安装于真空镀膜设备内，主要包括主杆、支杆及托架，所述托架为螺旋形结构，所述主杆为竖直设置的直杆，主杆上设置有至少一组支杆， 每组支杆包括上支杆和下支杆，且所述上支杆和下支杆分别固定在主杆的上下端部；上支杆和下支杆的一端与主杆固定连接，另一端通过锁套分别与所述托架的两端连接。

进一步地，所述上支杆和下支杆上分别设置有一个用于卡接被镀膜产品的卡簧。

进一步地，所述主杆上设置的支杆数目为1-3组。

进一步地，所述主杆上设置的支杆的数目为3组。

本实用新型的有益技术效果在于：通过螺旋形结构的托架，可以将待处理的软管类产品套接在托架外，通过卡簧固定软管类产品的上下端部，从而完成表面处理，可有效提升设备的利用率，满足更多的产品需求。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1的局部放大结构示意图。

具体实施方式

为使本领域的普通技术人员更加清楚地理解本实用新型的目的、技术方案和优点，以下结合附图和实施例对本实用新型做进一步的阐述。

如图1-2所示，本实用新型所述的一种用于PVD加工的螺旋式挂具，该螺旋式挂具安装于真空镀膜设备内，主要包括主杆1、支杆2及托架4，所述托架4为螺旋形结构，待处理的软管类产品沿此托架旋挂，避免产品与产品、产品与工装设备等的碰撞，所述主杆1为竖直设置的直杆，主杆1上设置有至少一组支杆2， 每组支杆2包括上支杆21和下支杆22，且所述上支杆21和下支杆22分别固定在主杆1的上下端部；所述上支杆21和下支杆22均为“7”字形结构，上支杆21和下支杆22的一端与主杆1固定连接，另一端通过锁套5分别与所述托架4的两端连接。