[实用新型]一种超高真空视窗挡板器

权利要求书

1.一种超高真空视窗挡板器，其特征在于：包括真空腔体、第一连接件和第二连接件，所述真空腔体上设置有连接口，所述第一连接件的一面与连接口连接，另一面与第二连接件连接，所述第二连接件内设置有玻璃视窗，所述第一连接件内设置有用于遮挡玻璃视窗的挡板，所述挡板为自动复位挡板。

2.根据权利要求1所述的一种超高真空视窗挡板器，其特征在于：所述第一连接件和第二连接件为双面刀口法兰。

3.根据权利要求2所述的一种超高真空视窗挡板器，其特征在于：所述连接口上设置有双面刀口法兰。

4.根据权利要求1所述的一种超高真空视窗挡板器，其特征在于：所述自动复位挡板包括挡板和挡板复位机构，所述挡板通过旋转轴固定在第一连接件内，所述挡板复位机构位于旋转轴的端部。

5.根据权利要求4所述的一种超高真空视窗挡板器，其特征在于：所述挡板复位机构为扭力弹簧。

6.根据权利要求4所述的一种超高真空视窗挡板器，其特征在于：所述第一连接件的内壁上有旋转轴固定孔，所述挡板复位机构的一端固定在挡板上，另一端固定旋转轴固定孔内。

7.根据权利要求6所述的一种超高真空视窗挡板器，其特征在于：所述挡板与旋转轴之间通过螺丝连接。

8.根据权利要求6所述的一种超高真空视窗挡板器，其特征在于：所述旋转轴位于第一连接件以外的部分通过第三连接件与旋转驱动器连接。

9.根据权利要求8所述的一种超高真空视窗挡板器，其特征在于：所述第三连接件为连接法兰。