[实用新型]一种靶材浇铸设备有效

专利信息
申请号: 201920544227.0 申请日: 2019-04-19
公开(公告)号: CN210237757U 公开(公告)日: 2020-04-03
发明(设计)人: 黄勇彪;林文宝;刘海燕;李宝英 申请(专利权)人: 深圳市众诚达应用材料科技有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;B22C9/22
代理公司: 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 代理人: 林俭良
地址: 518000 广东省深圳市光明新*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 浇铸 设备
【权利要求书】:

1.一种靶材浇铸设备,其特征在于,包括分开相对设置的第一底板(2)和第二底板(3)、以及夹紧设置在所述第一底板(2)和所述第二底板(3)之间的模具(1),其中,

所述模具包括内管(11)与外管(12),在所述内管(11)与所述外管(12)之间形成浇铸空间;

所述第一底板(2)包括第一板状主体,在所述第一板状主体的一侧端面精加工出分别与所述内管(11)与所述外管(12)一端对应的第一定位槽和第二定位槽;

所述第二底板(3)包括第二板状主体,在所述第二板状主体的一侧端面精加出分别与所述内管(11)与所述外管(12)另一端对应的第三定位槽和第四定位槽;

所述第一底板(2)和/或所述第二底板(3)上设置有与所述浇铸空间连通的浇铸通道(21)。

2.根据权利要求1所述的靶材浇铸设备,其特征在于,还包括将所述第一底板(2)与所述第二底板(3)进行固定进而夹紧所述模具(1)的固定组件(4)。

3.根据权利要求2所述的靶材浇铸设备,其特征在于,所述固定组件(4)包括至少两根支撑杆(41);所述支撑杆(41)包括杆体(411)以及设置在所述杆体(411)底部的支撑部(412)。

4.根据权利要求3所述的靶材浇铸设备,其特征在于,所述第一底板(2)与所述第二底板(3)两端分别开设用于供所述杆体(411)穿设其中的通孔。

5.根据权利要求4所述的靶材浇铸设备,其特征在于,所述杆体(411)穿设并突出于所述通孔,所述支撑部(412)与所述第一底板(2)或所述第二底板(3)的板面贴合。

6.根据权利要求5所述的靶材浇铸设备,其特征在于,所述固定组件(4)还包括设置在所述杆体(411)远离所述支撑部(412)一端的锁紧件(42)。

7.根据权利要求6所述的靶材浇铸设备,其特征在于,所述锁紧件(42) 为锁紧螺母,所述杆体(411)远离所述支撑部(412)一端的表面设置与所述锁紧螺母相配合的螺纹;

所述锁紧螺母沿所述杆体(411)轴向运动将所述支撑杆(41)锁紧或松开进而将所述第一底板(2)与所述第二底板(3)进行限位固定或松开从而将所述模具(1)夹紧在所述第一底板(2)与所述第二底板(3)之间或使得所述模具(1)松开远离所述第一底板(2)与所述第二底板(3)。

8.根据权利要求1所述的靶材浇铸设备,其特征在于,还包括粘覆在所述外管(12)内壁表面的板材。

9.根据权利要求8所述的靶材浇铸设备,其特征在于,所述板材为石墨纸。

10.根据权利要求1所述的靶材浇铸设备,其特征在于,还包括对所述浇铸通道(21)进行密封的密封件。

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