[实用新型]一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具有效
| 申请号： | 201920540844.3 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN209829751U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 李泓波;朱光宇;陈智慧;张正伟;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 富乐德科技发展(大连)有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 21235 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 盖小静 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市保税区*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固定挂钩 固定盘 部品 吹扫 支架 横梁 治具 半导体设备 本实用新型 连接固定盘 搬运把手 连接固定 螺栓固定 喷头部件 蚀刻装置 主体两侧 倒置 上端 固定孔 连接台 掉落 弯折 沉积 伸出 挂钩 | ||
1.一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具，其特征在于，包括支架、固定盘(11)和固定挂钩(3)；所述支架上端两侧设有横梁(6)，固定挂钩(3)一侧弯折形成用于挂在横梁(6)上的凹槽，固定挂钩(3)另一侧设有用于连接固定盘(11)的孔A(4)，固定盘(11)包括主体和主体两侧伸出的连接台，连接台上设置有用于连接固定挂钩(3)的孔B，主体上设置固定孔(5)，主体上还设置有搬运把手(2)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具，其特征在于，所述横梁(6)焊接在支架上，横梁(6)上设置定位销(1)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具，其特征在于，所述固定挂钩(3)另一侧弯折90度形成水平的连接端，孔A(4)设置在连接端上。
4.根据权利要求1所述的一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具，其特征在于，所述孔A(4)和孔B为螺纹孔，用于连接固定挂钩(3)和固定盘(11)的螺栓穿过孔A(4)和孔B。
5.根据权利要求1所述的一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具，其特征在于，所述搬运把手(2)位于主体的顶面，主体的底面设置有圆形的定位槽D(10)，定位槽D(10)上设置有圆形的定位槽A(7)、环状的定位槽B(8)和环状的定位槽C(9)，定位槽A(7)位于环状的定位槽B(8)内，定位槽C(9)环绕在定位槽B(8)外。
6.根据权利要求1所述的一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具，其特征在于，所述固定孔(5)采用螺纹孔。
7.根据权利要求2所述的一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具，其特征在于，所述定位销(1)的数量为两个。
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