[实用新型]一种多工位夹具与配套的清洗托架

权利要求书

1.一种多工位夹具与配套的清洗托架，其特征在于，包括：上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架、下护板、磁铁片和锁紧件，所述上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架和下护板分别设置有位置相对的通孔，所述通孔包括固定孔、用于卡住晶片上的晶片罩孔、安装磁铁片的磁铁孔和用于卡住磁铁片的磁铁罩孔，所述上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架和下护板通过锁紧件穿过固定孔而依次重叠固定在一起，石英晶片安装于晶片孔内，所述骨架设置有晶片孔和磁铁孔，所述磁铁片安装于磁铁孔内。

2.根据权利要求1所述的一种多工位夹具与配套的清洗托架，其特征在于，所述上掩膜板设置有晶片罩孔，所述晶片罩孔呈矩阵分布，矩阵内具有未铺设晶片罩孔的空白区域，空白区域与晶片罩孔相互间隔，空白区域在矩阵上呈相互间隔的排布，每个空白区域的面积至少为两个晶片罩孔的面积。

3.根据权利要求2所述的一种多工位夹具与配套的清洗托架，其特征在于，所述定位片设置有晶片孔和磁铁罩孔，所述晶片孔和磁铁罩孔呈矩阵分布，所述磁铁罩孔包括矩阵内的磁铁罩孔和围绕矩阵边缘的磁铁罩孔。

4.根据权利要求3所述的一种多工位夹具与配套的清洗托架，其特征在于，所述定位片的晶片孔与上掩膜板的晶片罩孔位置相对，所述定位片的矩阵内的磁铁罩孔与上掩膜板的空白区域位置相对。

5.根据权利要求4所述的一种多工位夹具与配套的清洗托架，其特征在于，所述下掩膜板设置有晶片罩孔和磁铁孔，所述下掩膜板的晶片罩孔与定位片的晶片孔位置相对，所述下掩膜板的磁铁孔与定位片的晶片罩孔的位置相对。

6.根据权利要求5所述的一种多工位夹具与配套的清洗托架，其特征在于，所述骨架的磁铁孔内具有磁铁片，所述磁铁孔的位置与下掩膜板的磁铁孔的位置相对，所述骨架的晶片孔与下掩膜板的晶片罩孔位置相对。

7.根据权利要求6所述的一种多工位夹具与配套的清洗托架，其特征在于，所述下护板设置有晶片孔，所述晶片孔呈矩阵分布，所述下护板的晶片孔与骨架晶片孔位置相对，与所述骨架的磁铁孔相对的下护板位置设置为空白区域，空白区域用于将位于骨架内的磁铁片卡住。

8.根据权利要求7所述的一种多工位夹具与配套的清洗托架，其特征在于，所述锁紧件为螺钉，螺钉将上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架、下护板依次重叠固定为多层的整体结构。