[实用新型]一种多晶硅制备坩埚

权利要求书

1.一种多晶硅制备坩埚，其特征为，包括：坩埚外锅（2）、与所述坩埚外锅（2）可拆卸连接且与所述坩埚外锅（2）内表面贴合的坩埚内锅（1），所述坩埚内锅（1）包括内锅底面（12）、内锅侧面（13），所述内锅底面（12）与所述内锅侧面（13）通过设置在所述内锅底面（12）侧边的转轴（11）铰接，用以使所述内锅侧面（13）能够沿转轴（11）转动进而将所述坩埚内锅（1）展开为一个平面。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备坩埚，其特征为，所述坩埚内锅（1）开口端处设有环形把手（4）。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅制备坩埚，其特征为，所述环形把手（4）铰接在所述坩埚内锅（1）上。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备坩埚，其特征为，所述坩埚外锅（2）外壁上设置有护板（3）。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备坩埚，其特征为，所述内锅侧面（13）用以与其他所述内锅侧面（13）贴合的一端设有磁吸件（14）。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备坩埚，其特征为，所述坩埚内锅（1）的内表面复合有氮化硅涂层。

7.根据权利要求6所述的一种多晶硅制备坩埚，其特征为，所述氮化硅涂层表面复合有颗粒层。

8.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备坩埚，其特征为，所述坩埚外锅（2）与所述坩埚内锅（1）之间填充有锡层。