[实用新型]一种摆动式喷射沉积雾化器

权利要求书

1.一种摆动式喷射沉积雾化器，所述摆动式雾化器包含有：雾化室、沉积室和控制系统，所述雾化室中设有中间包装置、支撑板装置、波纹管摆动装置；所述沉积室中设有基板、基板支柱和转动器，其特征在于：所述中间包装置由浇包和中间包组成，所述浇包底部通过导液管与所述中间包相连通，将所述浇包中的金属熔体连续均匀导流入所述中间包中；所述支撑板装置由支撑板、凸轮、定位轴、滑板组成，所述支撑板两端下面与所述凸轮相连接，中间部位支撑于所述波纹管摆动装置中的波纹管上，所述波纹管摆动装置由波纹管及设置在波纹管内的雾化器组成，所述雾化器的上部固定在所述基板下面，所述中间包底部通过导液管与所述雾化器相连通，将所述中间包中的金属熔体送入雾化器，并在雾化器中雾化，所述凸轮转动带动所述基板两端绕所述波纹管摆动，从而带动固定在支撑板下面的雾化器摆动，形成摆动的金属雾；所述基板固定连接在所述基板支柱的上端，所述基板下端连接在所述转动器上，所述转动器一方面带动所述基板支柱转动，一方面带动所述基板支柱上下运动；所述控制系统由中央控制器、数据收集器、升降控制器、滑板控制器、数显激光器组成，所述中央控制器将各数据收集器的数据进行处理并向升降控制器、滑板控制器发布指令，分别控制所述滑板滑动和所述基板支柱上下运动，所述数据收集器将数显激光器采集到的信息收集并传输给中央控制器，所述数显激光器用于采集被监测部件的各设定信息。

2.根据权利要求1所述的一种摆动式喷射沉积雾化器，其特征在于：所述中间包与所述雾化器之间的所述导液管摆动角度范围在3～5°。

3.根据权利要求1所述的一种摆动式喷射沉积雾化器，其特征在于：所述凸轮设计成带动雾化器支撑板、中间包及波纹管在喷射所需的角度范围内做摆动的机械结构形式。

4.根据权利要求1所述的一种摆动式喷射沉积雾化器，其特征在于：所述浇包及中间包外壁设置保温装置，使高速钢熔体流经中间包或浇包时处熔融状态。