[实用新型]尾气处理系统

说明书

本实用新型公开了一种尾气处理系统，涉及多晶硅加工技术领域，主要目的是提供一种能够降低能源消耗的尾气处理系统。本实用新型的主要技术方案为：一种尾气处理系统，包括：精馏部，所述精馏部用于精馏尾气；存储部，用于存储氯硅烷；冷却部，所述冷却部包括空气冷却部件、冷凝部件和分离部件，所述空气冷却部件的一端连接于所述精馏部，另一端连接于所述分离部件，用于向所述分离部件通入混合物料，所述分离部件的一端连接于所述冷凝部件，用于向所述冷凝部件输送气体物料，另一端连接于所述存储部，用于向所述存储部输送液体物料，所述存储部连接于所述精馏部，用于向所述精馏部输送液体物料。本实用新型主要用于尾气处理。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅加工技术领域，尤其涉及一种尾气处理系统。

背景技术

随着国内外电子信息产业的飞速发展和对新能源的巨大需求，多晶硅产品市场一直方兴未艾。

目前，在多晶硅生产过程中，尾气的处理尤为重要，尾气回收精馏塔能够对尾气进行精馏，从而降低尾气对环境的污染，尾气回收精馏塔的底部需要高温高压的蒸汽加热，而塔顶需要低温冷却介质氟利昂进行冷却，周而复始，达到使尾气中的组分分离的作用，现有技术中，通过提高精馏塔中部的进料温度，使蒸馏塔的塔底的蒸汽消耗量明显节约，但是，由于精馏塔的顶部排出的物料的温度较高，需要通过冷凝器进行冷凝，因此，需要消耗更多的冷却冷量使得尾气的温度降低，从而导致精馏塔的顶部的冷却冷量消耗却明显增加，并没有解决减少能量消耗的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种尾气处理系统，主要目的是提供一种能够降低能源消耗的尾气处理系统。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种尾气处理系统，该系统包括：

精馏部，所述精馏部用于精馏尾气；

存储部，用于存储氯硅烷；

冷却部，所述冷却部包括空气冷却部件、冷凝部件和分离部件，所述空气冷却部件的一端连接于所述精馏部，另一端连接于所述分离部件，用于向所述分离部件通入混合物料，所述分离部件的一端连接于所述冷凝部件，用于向所述冷凝部件输送气体物料，另一端连接于所述存储部，用于向所述存储部输送液体物料，所述存储部连接于所述精馏部，用于向所述精馏部输送液体物料。

进一步的，所述空气冷却部件包括壳体、空气冷却器、空气管道和输送管，所述空气管道设置在所述壳体内，所述冷却器设置在所述空气管道的一端，用于向所述空气管道内吹入空气，所述输送管的一端连接于所述精馏部，另一端穿过所述壳体并且与所述分离部件相连接，用于输送气体物料。

进一步的，所述冷凝部件包括壳程部件和管程部件，所述壳程部件的一端连接于分离部件，另一端连接于所述存储部，用于向所述冷凝部件通入气体物料，所述管程部件内通入冷却剂，用于降低气体物料的温度。

进一步的，控制器，所述控制器连接于所述空气冷却部件，用于调节所述空气冷却部件的大小；

检测器，所述检测器连接于所述控制器，用于向所述控制器传递环境温度信息。

进一步的，加热部，所述加热部连接于所述精馏部，用于加热所述精馏部内的液体物料。

进一步的，所述精馏部包括精馏塔，所述精馏塔具有相对的顶端和底端，所述空气冷却部件的一端连接于所述顶端，所述存储部连接于所述顶端，所述加热部连接于所述底端。

进一步的，所述存储部包括存储罐、排气管和分液管，所述存储罐连接于所述冷凝部件，用于接收物料，所述排气管连接于所述存储罐，用于排出所述存储罐内的气体物料，所述分液管连接于所述存储罐，用于排出液体物料。