[实用新型]一种加热源

说明书

本实用新型提供一种加热源，其特征在于：包括流体池、加热装置、加热本体和泵。在流体池内添加低熔点且导热良好的钠、钾金属材料或者合金，因此通过加热装置的加热使得位于流体池内的钠金属材料熔融为液态，当温度达到设定值时，开启第一阀门和第二阀门。继而，使用泵将液态钠经由输入管道输出，使得液态钠由加热本体底面输入于中空结构内，再充满至中空结构的顶部输出管道时，经由输出管道再回流至流体池内，并对回流的液态钠进行再加热，形成一个不间断循环加热的加热源。因为流体加热的方式具有良好的导热性，因此可以实现良好的且均匀的加热，避免坩埚局部温度过高导致材料裂解，提高加热的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及坩埚加热源设备领域，尤其涉及一种加热源。

背景技术

有机发光二极管(英文名为：Organic Light-Emitting Diode，英文缩写为：OLED)是新一代的显示技术，有良好的应用前景，目前已经广泛应用在手机、电脑、电视、车载、照明等领域。OLED器件是OLED显示器的核心部分，OLED器件主要是由不同的有机材料层层堆叠而成，每层材料都有特定的功能，各种功能层组合在一起实现发光。目前制备器件的主流做法是物理气相沉积法：即将有机材料放置在真空腔中的加热源中，加热源内的电热丝通电加热使材料气化或者升华并沉积在玻璃基板上形成薄膜，最后再蒸镀金属阴极。制备好的器件在合适的电压驱动下，在电场的作用下，电子和空穴分别从器件的阴极和阳极注入，在发光层复合形成激子发光。

有机材料放置在真空腔中的蒸发源坩埚内部，对坩埚加热，使坩埚内部的材料气化或者升华并沉积在基板上。目前主流的做法一般是采用电加热丝对坩埚进行加热，通过调整电流的大小控制加热丝的温度，进而控制坩埚的温度。有机材料对温度有严格的控制要求，如果超过一定温度，材料就会裂解变质，进而影响器件性能。电加热丝在加热时，容易产生加热不均匀的现象，且越靠近加热丝的区域温度越高，该局部区域温度过高会使材料存在裂解的风险。

实用新型内容

为此，需要提供一种加热源，解决现有加热源在加热坩埚时容易发生加热不均匀的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种加热源，包括流体池、加热装置、加热本体和泵，所述加热装置环绕设置在流体池的外侧面上；所述加热本体的内部为中空结构，所述加热本体的顶部周侧设置有输出管道，所述输出管道与中空结构相导通设置，所述加热本体的底面设置有输入管道，所述输入管道与中空结构相导通设置，所述输入管道的另一端与流体池相导通设置；所述输入管道设置有第一阀门，所述输出管道设置有第二阀门，所述泵设置在第一阀门与加热本体之间的输入管道上，所述泵用于将流体池内的高温流体于加热本体与流体池之间循环输送。

进一步地，所述加热本体设置有放置槽，所述放置槽用于放置坩埚。

进一步地，所述输入管道与加热本体连接的一端设置有多根输入支管，多根所述输入支管并排设置在输入管道与加热本体的底面之间。

进一步地，所述输入支管设置有第一流量控制阀。

进一步地，所述第二阀门与加热本体之间的输出管道上设置有第二流量控制阀。

进一步地，所述输出管道设置有多根，多根所述输出管道等间距设置在加热本体的顶部周侧上。

进一步地，所述流体池设置有第一热偶规，所述第一热偶规位于流体池的外侧面上。

进一步地，所述加热本体设置有第二热偶规，所述第二热偶规位于加热本体的外侧面上。