[实用新型]一种用于检测高频芯片的悬臂探针卡

说明书

本实用新型涉及芯片检测技术领域，公开了一种用于检测高频芯片的悬臂探针卡，包括基板、线路板，所述基板的顶面右端固定有连接柱，所述基板的底面右端设有凹腔，所述的线路板通过长螺栓与凹腔的底部固定连接；所述基板的左端设有滑孔，所述滑孔内设有滑杆，所述滑杆的上端设有限位螺母，滑杆的下端设有连接座，所述连接座的下端设有两根倾斜的探针，所述探针的尾端通过数据线与线路板连接，所述滑杆上位于连接座与基板底面之间的部位套设有压簧；所述的探针为刚性探针。本实用新型结构紧凑，稳定性好，探针长度较短，能提高高频芯片的检测灵敏度。

技术领域

本实用新型涉及芯片检测技术领域，尤其涉及一种用于检测高频芯片的悬臂式探针卡。

背景技术

半导体集成电路芯片的电性测试在半导体制作工艺的不同阶段都是必要的，每个芯片在晶片与封装形态都必须接受测试以确保其电性功能。目前晶片检测的方式是将测试机与探针卡构成测试回路，将探针卡上的探针头直接与芯片的焊垫或凸块接触，利用探针头逐一探测晶片上的各个芯片，并将探测信号数据传送到测试机上。悬臂式探针的长度通常较长，以满足其检测时的弹性形变，确保探针与芯片接触良好，然而对于一些高频芯片检测，为了提高检测灵敏度，要求探针越短越好，目前的悬臂式探针卡上的探针较长，用于检测高频芯片时，灵敏度会降低，从而降低检测精度。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术中的悬臂探针卡上的探针较长导致用于检测高频芯片时检测灵敏度降低的问题，提供了一种用于检测高频芯片的悬臂式探针卡，该探针卡上的探针长度最大限度的缩短，从而提高高频芯片的检测灵敏度。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于检测高频芯片的悬臂式探针卡，包括基板、线路板，所述基板的顶面右端固定有连接柱，所述基板的底面右端设有凹腔，所述的线路板通过长螺栓与凹腔的底部固定连接；所述基板的左端设有滑孔，所述滑孔内设有滑杆，所述滑杆的上端设有限位螺母，滑杆的下端设有连接座，所述连接座的下端设有两根倾斜的探针，所述探针的尾端通过数据线与线路板连接，所述滑杆上位于连接座与基板底面之间的部位套设有压簧；所述的探针为刚性探针。探针直接固定在连接座上，连接座与滑杆连接，滑杆可沿着滑孔升降，检测时探针本身就不需要伸缩了，因此直接采用刚性探针，刚性探针会比弹性探针(弹性探针通常包含固定段、伸缩段)短很多，而且探针尾端直接通过数据线与线路板连接，从而极大的缩短探针头部到线路板连接端的长度，提高了高频芯片的检测精度。

作为优选，所述滑杆的侧面设有长槽孔，所述基板的左端设有伸入长槽孔内的限位销。通过限位销、长槽孔对滑杆进行周向限位，防止滑杆转动，确保每次检测时探针头部的位置一致。

作为优选，所述连接座的下端设有连接孔，所述连接座内位于连接孔的上端设有引线腔，所述连接孔内设有连接套，连接套与连接孔螺纹连接，所述的探针通过绝缘胶固定在连接套内。即将绝缘胶注入连接套内，待绝缘胶凝固后就将探针定位，绝缘胶凝固后受压具有微小的形变量，即使探针头部存在微小的高度差，受压时也能确保两根探针均与芯片接触检测。

作为优选，所述长螺栓上位于线路板与凹腔底部之间的部位设有支撑套，所述线路板与基板之间形成散热间隙。散热间隙便于线路板散热。

作为优选，所述的基板由陶瓷制成。陶瓷具有良好的绝缘性和刚性。

因此，本实用新型结构紧凑，稳定性好，探针长度较短，能提高高频芯片的检测灵敏度。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图。

图2为图1中A处局部放大示意图。

图中：基板1、线路板2、连接柱3、凹腔4、长螺栓5、支撑套6、滑孔8、滑杆9、限位螺母10、长槽孔11、限位销12、连接座13、探针14、引线腔15、连接套16、绝缘胶17、数据线18、压簧19。