[实用新型]一种同光源双振镜皮秒激光振镜设备

权利要求书

1.一种同光源双振镜皮秒激光振镜设备，包括机架（11）、大理石基座（4）、配电柜（1）、控制系统（16）、显示系统（17）、门控机构（14）、外罩组件（15）、真空发生器（12）、真空吸附系统（13）、X轴移动系统（6）、Y轴移动系统（5）、Z轴移动系统（7），其特征在于：还包括激光器（2）、光路集成（3）、振镜（9）、远心可变聚焦镜（10）；所述机架（11）上方左右两侧设有配电柜（1），中间安装有大理石基座（4）；所述大理石基座（4）由底座（41）、左右两个立座（42）、顶座（43）一体组成，左右两个立座（42）设置在底座（41）的后端左右部位，长条状顶座（43）设置在左右立座（42）的前端上面；

在所述底座（41）上设置有Y轴移动系统（5），在Y轴移动系统（5）的上方设有X轴移动系统（6），在X轴移动系统（6）上并列设置有两个Z轴移动系统（7）；所述Z轴移动系统（7）的上方安装有真空吸附系统（13）；所述真空吸附系统（13）与真空发生器（12）相连接；

所述光路集成（3）是将从激光器发出的激光通过分光晶体分成同光源的两条光路的系统，安装在顶座（43）上，后端连接有激光器（2），前端连接有沿X轴方向并列排列的两个振镜（9），所述振镜（9）下方安装有远心可变聚焦镜（10），所述远心可变聚焦镜（10）与振镜（9）为同轴心安装；所述两个振镜（9）轴心之间的距离与两个Z轴移动系统（7）中心之间的距离一致；在右侧振镜（9）外侧，在顶座前侧面上安装有视觉定位系统（8）；所述激光器（2）为皮秒激光发生装置。

2.根据权利要求1所述的同光源双振镜皮秒激光振镜设备，其特征在于：所述光路集成（3）包括光路底板（31）、光路封板（32），反射镜（33）、反射镜基座（34）、分光晶体（35）、分体晶体基座（36）、扩束镜（37）、扩束镜支架（38）；在所述光路底板（31）上设置有纵横相交、相互垂直的沟槽；所述反射镜基座（34）及分体晶体基座（36）都装在光路路线上的沟槽里；所述反射镜（33）安装在反射镜基座（34）上，第一组反射镜（33）将从激光器发出的激光反射90度投射到第二组反射镜（33）上，第二组反射镜（33）上将激光90度反射至分光晶体（35）上；所述分光晶体（35）安装在分体晶体基座（36）上，并安装在一组扩束镜37后面；所述分光晶体（35）将激光分射成两条光路，一条光路直接通过扩束镜（37）至前端的振镜（9），另一条经过设置的第三组反射镜（33），反射到另一组扩束镜（37）再至前端的振镜（9）。

3.根据权利要求1所述的同光源双振镜皮秒激光振镜设备，其特征在于：所述Y轴移动系统（5），包括：两条移动导轨（51）、Y轴移动平台（52）、Y轴驱动电机，所述底座（41）的前后端设有Y轴行程限位条（53）；所述 X轴移动系统（6），包括：X轴固定平台（61）、两条X轴移动导轨（62）、X轴驱动电机、X轴移动平台（64），所述X轴固定平台（61）固定连接在Y轴移动平台（52）上，上面依次设有X轴移动导轨（62），X轴移动平台（64），左右两侧安装有X轴行程限位条（63）；所述Z轴移动系统（7）安装在X轴移动平台（64）上，包括Z轴驱动装置、升降平台。

4.根据权利要求3所述的同光源双振镜皮秒激光振镜设备，其特征在于：所述Y轴驱动电机，X轴驱动电机均设置在底座（41）的后端位置上。

5.根据权利要求1所述的同光源双振镜皮秒激光振镜设备，其特征在于：所述立座（42）设有中空结构，真空发生器（12）安装在中空结构中。

6.根据权利要求1所述的同光源双振镜皮秒激光振镜设备，其特征在于：所述机架（11）为凸台式构造的金属结构件，大理石基座（4）安装在中间凸台上，配电柜（1）设置在左右两侧低平台处。