[实用新型]一种非直线互联真空管道间的样品中转装置

说明书

一种非直线互联真空管道间的样品中转装置，设有一中转腔位于若干条不同直线上的真空直通管道的交叉点位置，此中转腔的侧面设有法兰将若干不都在同一直线上的真空直通管道连接到中转腔，中转腔的底部有一转盘，转盘的转轴延伸到腔外，腔外设有与转轴固定的旋钮，旋钮能使转盘旋转，转盘上设有导轨；中转腔内靠近直通管道的位置有一齿轮，通过腔外旋钮使齿轮旋转；载样小车在直通管道内部导轨上运行，直通管道内部导轨与转盘上设有的导轨在同一平面上；在直通管道中载样小车是通过管道外部设有导轨上的磁铁引导移动。

技术领域

本实用新型涉及在真空互联管道中的样品转移装置，尤其是提出一种在非直线互联的管道中载样小车的引导和转向装置。

背景技术

在物理、材料、化学的研究工作中，涉及大量薄膜的生长与表征。在真空生长腔内完成生长薄膜之后，为防止薄膜在转移到表征腔的过程中被污染，传统的方法是，在薄膜表面覆盖一层保护层，再在表征腔内用加热或离子溅射的方法去掉保护层。这种方法较为繁琐，而且很难保证处理后的薄膜不受到损伤。因此，将生长和表面表征需要的各个腔室通过超高真空管道连接起来成为一种高效的解决方案。它不仅能避免薄膜在各个真空腔室之间转移时与空气接触被氧化，减少薄膜表面杂质的吸附，还能免除传统方法带来的损失，从而保证薄膜表面的结构完整和性质一致，提高测试的可行性和准确性。

现有的真空互联管道都是直通管道，管道中设有导轨，样品通过导轨上的载样小车进行传送。然而，在一个长的直线管道上连接上多个真空腔室，所占的面积大，空间利用度小，在室内空间有限时难以实现多个真空腔室的互联。例如本申请人的在先申请CN2018104644114一种加长超高真空载样小车。

实用新型内容

本实用新型目的是，为了克服直线互联的真空管道对场地要求高、空间利用度小、互联性较差的问题，本实用新型提出一种样品转移装置，通过载入载样小车并调转其方向，该装置能实现在非直线互联的真空直通管道中载样小车的转移。

本实用新型解决现有技术问题所采用的技术方案是：一种非直线互联真空管道间的样品中转装置，设有一中转腔位于若干条不同直线上的真空直通管道的交叉点位置，此中转腔的侧面设有法兰将若干不都在同一直线上的真空直通管道连接到中转腔，中转腔的底部有一转盘，转盘的转轴延伸到腔外，腔外设有与转轴固定的旋钮，旋钮能使转盘旋转，转盘上设有导轨；中转腔内靠近直通管道的位置有一齿轮，通过腔外旋钮使齿轮旋转；载样小车在直通管道内部导轨上运行，直通管道内部导轨与转盘上设有的导轨在同一平面上；在直通管道中载样小车是通过管道外部设有导轨上的磁铁引导移动。

管道外部设有的导轨可以横贯中转腔，引导载样小车进出中转腔。但中转腔在结构上会受到影响，尤其是中转腔体积受到很大限制。

另一种引导载样小车进出中转腔的结构，尤其是用于垂直(十字交叉，也可以是L型/T型)互联真空管道的中转腔：载样小车的两侧(长边)各设有平行侧面的一根齿条，在中转腔中设有两个齿轮与两侧的齿条分别啮合，两个齿轮通过固定转轴延伸到腔外，腔外设有与转轴固定的旋钮，且位于贯通中转腔的直线管道的两侧。在转移载样小车时，先旋转转盘将转盘上的导轨与载样小车所在直通管道中的导轨对齐，再用直通管道外部导轨上的磁铁吸引载样小车靠近中转腔，使载样小车上的齿条与中转腔中的齿轮啮合，通过旋转腔外旋钮使载样小车前进，即可使小车滑入中转腔中。待小车完全进入中转腔后，旋转转盘的腔外旋钮，使转盘的导轨与目标的直通管道的导轨对齐，此时小车上的齿条也与另一个齿轮啮合，再旋转该齿轮的腔外旋钮可使小车前进，小车便进入目标的直通管道中。这样便实现了载样小车在非直线连接的真空直通管道中的转移。

本实用新型的有益效果，本实用新型中转腔采用可通过腔外旋钮旋转的转盘和齿轮，实现在非直线互联的真空直通管道中载样小车的转移，提高真空管道互联的可行性和空间利用率，且结构简单，操作方便，尤其是用于互相垂直的直通管道的样品车的转移。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步说明。