[实用新型]一种评估半导体屏蔽材料发射性能的测试装置有效
| 申请号： | 201920491496.5 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN210222187U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 郝春成;邢照亮;燕仕玉;李源;雷清泉;魏艳慧;李国倡;张翀;于凡;胡祥楠 | 申请（专利权）人： | 青岛科技大学;全球能源互联网研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 山东康桥律师事务所 37250 | 代理人： | 柳彦君 |
| 地址： | 266061 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 评估 半导体 屏蔽 材料 发射 性能 测试 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种评估半导体屏蔽材料发射性能的测试装置，其特征在于，包括真空控制系统、性能测试系统，其中，性能测试系统包括测试室、测试样品、载物台、阳极、电流表、保护电阻、高压直流电源，所述测试样品固定在载物台上作为阴极，阳极接高压直流电源的正极端，测试样品接高压直流电源的阴极端，高压直流电源的阴极端接地，保护电阻和电流表串联在电路中，所述阳极、阴极均位于测试室中，所述真空控制系统控制测试室为真空状态。
2.根据权利要求1所述的一种评估半导体屏蔽材料发射性能的测试装置，其特征在于，所述真空控制系统包括控温装置和分子泵。
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