[实用新型]一种基于纳米簇绝缘层的高性能薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201920491294.0 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN209747523U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 赵天石;赵春;赵策洲;杨莉 | 申请（专利权）人： | 西交利物浦大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/51;H01L21/34;B82Y10/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 32103 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 范晴;吴音<国际申请>=<国际公布>=< |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 绝缘层 半导体层 衬底 退火 本实用新型 漏电极 源电极 栅电极 电极 结合能 高性能薄膜 器件性能 工艺流程 抗辐射 纳米簇 晶体管 制备 生产成本 匹配 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于纳米簇绝缘层的高性能薄膜晶体管，其特征在于：包括衬底、电极、绝缘层和半导体层；所述电极分为栅电极、源电极和漏电极；所述衬底上设置有绝缘层；所述绝缘层和衬底之间设置有栅电极；所述绝缘层上设置有半导体层；所述半导体层上设置有源电极和漏电极；所述衬底为柔性材料；所述绝缘层为纳米簇材料；所述半导体层为金属氧化物半导体层。
2.根据权利要求1所述的一种基于纳米簇绝缘层的高性能薄膜晶体管，其特征在于：所述电极的材料为金。
3.根据权利要求1所述的一种基于纳米簇绝缘层的高性能薄膜晶体管，其特征在于：所述绝缘层为水溶液法制备的铪掺杂氧化铝纳米簇材料。
4.根据权利要求1所述的一种基于纳米簇绝缘层的高性能薄膜晶体管，其特征在于：所述半导体层为锌锡氧材料。
5.根据权利要求1所述的一种基于纳米簇绝缘层的高性能薄膜晶体管，其特征在于：所述衬底为柔性透明材料聚酰亚胺或聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚乙烯萘树脂。
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