[实用新型]一种量子芯片测试装置

权利要求书

1.一种量子芯片测试装置，其特征在于，包括量子芯片放置台、探针装置和检测装置；

所述量子芯片放置台表面开有若干用于放置量子芯片的卡槽；

所述探针装置包括用于安装所述量子芯片放置台的探针座、至少一对探针和探针移动装置，所述探针固定在所述探针移动装置上，并在所述探针移动装置的带动下移动至所述卡槽的上方并与放置在所述卡槽内的量子芯片接触；

所述检测装置与所述探针电连接。

2.根据权利要求1所述的一种量子芯片测试装置，其特征在于，所述量子芯片放置台上的各所述卡槽均为矩形沉槽。

3.根据权利要求2所述的一种量子芯片测试装置，其特征在于，所述量子芯片放置台上的各所述卡槽以若干行若干列的形式均匀设置在所述量子芯片放置台的表面，其中：每一行中两相邻所述卡槽间的距离相等，每一列中两相邻所述卡槽间的距离相等。

4.根据权利要求1所述的一种量子芯片测试装置，其特征在于，所述探针装置还包括自动进给装置，所述自动进给装置包括驱动装置、第一方向移动装置和第二方向移动装置，所述驱动装置驱动所述第一方向移动装置沿第一方向移动，所述驱动装置驱动所述第二方向移动装置沿第二方向移动，其中：所述第一方向和所述第二方向均为与所述量子芯片放置台表面平行的水平方向；

所述量子芯片放置台通过所述探针座安装在所述自动进给装置上，其中：所述第一方向移动装置带动所述量子芯片放置台沿第一方向运动，所述第二方向移动装置带动所述量子芯片放置台沿第二方向运动，所述第一方向和所述第二方向交叉。

5.根据权利要求4所述的一种量子芯片测试装置，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向垂直。

6.根据权利要求1所述的一种量子芯片测试装置，其特征在于，所述检测装置为用于检测量子芯片电容的电容检测装置或用于检测量子芯片电阻的电阻检测装置。

7.根据权利要求1所述的一种量子芯片测试装置，其特征在于，所述量子芯片测试装置还包括显示装置，所述显示装置与所述检测装置连接。

8.根据权利要求1所述的一种量子芯片测试装置，其特征在于，所述量子芯片放置台内部设有中空的腔体，所述量子芯片放置台远离所述卡槽的表面开有第一气孔并在所述量子芯片放置台内部与所述腔体连通，所述量子芯片放置台上各所述卡槽的底部开有第二气孔并在所述量子芯片放置台内部与所述腔体连通；

所述量子芯片测试装置还包括吸风装置，所述吸风装置包括吸风管，所述吸风管的进风口与所述第一气孔在所述量子芯片放置台外部连通。

9.根据权利要求8所述的一种量子芯片测试装置，其特征在于，所述吸风装置还包括真空泵和电磁阀，所述真空泵与所述吸风管的出风口连接，所述电磁阀安装在所述吸风管上。