[实用新型]一种垂直支承微型压电泵

权利要求书

1.一种垂直支承微型压电泵，其特征在于：包括：

泵体(1)，与泵体(1)构建出泵腔(4)的支承结构(3)，设置在泵腔(4)中并与支承结构(3)连接的致动器(2)，配置于泵体(1)和支承结构(3)上的一个或多个与泵腔(4)连通的通气孔；

所述致动器(2)包括振动基板(60)和设于振动基板(60)上的一个或多个压电元件(50)，所述振动基板(60)靠近支承结构(3)的一侧设有多个避让部(61)；

所述支承结构(3)包括底板(80)，所述底板(80)靠近振动基板(60)的一侧设有挠性板(70)，所述挠性板(70)上设有与避让部(61)位置对应的梁部(74)，所述底板(80)上设有与梁部(74)位置对应的避让槽(82)；

通过对所述致动器(2)施加驱动电压，致动器(2)发生弯曲变形，使挠性板(70)产生谐振并随着致动器(2)朝着相反方向弯曲变形，从致动器(2)一侧通气孔吸入流体，从致动器(2)另一侧通气孔排出，且挠性板(70)振动过程中，梁部(74)均不接触避让部(61)和避让槽(82)。

2.根据权利要求1所述的一种垂直支承微型压电泵，其特征在于：所述泵体(1)包括由上至下依次密封连接的盖板(10)、第一隔板(20)、电极板(30)和第二隔板(40)，所述盖板(10)上设有连通泵腔(4)的气孔(11)，所述第一隔板(20)、电极板(30)和第二隔板(40)上均设有通孔，所述电极板(30)上设有置于泵腔(4)外的外部电极(31)和置于泵腔(4)内的内部电极(32)，所述第一隔板(20)用于保证压电元件(50)弯曲变形过程中，内部电极(32)与压电元件(50)的焊点不会接触盖板(10)，所述第二隔板(40)为绝缘板，第二隔板(40)与支承结构(3)密封连接且第二隔板(40)的厚度大于致动器(2)的厚度。

3.根据权利要求1所述的一种垂直支承微型压电泵，其特征在于：所述振动基板(60)包括基板本体(64)和设置在基板本体(64)上的凸起(65)，所述基板本体(64)和凸起(65)之间形成多个避让部(61)，所述凸起(65)包括圆面(62)和均布在圆面(62)圆周上的多个连接面(63)，所述连接面(63)与梁部(74)连接。

4.根据权利要求3所述的一种垂直支承微型压电泵，其特征在于：所述基板本体(64)与凸起(65)之间设有密封腔体。

5.根据权利要求3或4所述的一种垂直支承微型压电泵，其特征在于：所述圆面(62)上设有延伸至避让部(61)的流道，所述流道为环形流道(66)或呈环状均布的辐射流道(67)。

6.根据权利要求5所述的一种垂直支承微型压电泵，其特征在于：所述流道的深度小于或等于避让部(61)的深度。

7.根据权利要求1所述的一种垂直支承微型压电泵，其特征在于：所述挠性板(70)包括支撑部(71)和谐振部(77)，所述支撑部(71)包括框部(72)，所述框部(72)上设有置于泵腔(4)外的电极(75)，多个所述梁部(74)设置在支撑部(71)和谐振部(77)之间，梁部(74)上设有连接部(76)，梁部(74)与框部(72)之间通过固定部(73)连接，所述谐振部(77)上设有与压电元件(50)同轴设置的中心孔(78)，所述底板(80)上设有开口(81)，使得中心孔(78)能够在开口(81)中露出。

8.根据权利要求7所述的一种垂直支承微型压电泵，其特征在于：所述谐振部(77)与梁部(74)之间通过谐振凸起(771)连接。

9.根据权利要求7所述的一种垂直支承微型压电泵，其特征在于：所述底板(80)设有避让槽(82)的一侧设有底面凸台(85)。

10.根据权利要求7-9任意一项所述的一种垂直支承微型压电泵，其特征在于：所述谐振部(77)远离底板(80)的一侧设有延伸至其边缘的流道，所述流道为第二环形流道(772)或呈环状均布的第二辐射流道(773)。