[实用新型]一种多纤维磁力溅射装置

权利要求书

1.一种多纤维磁力溅射装置，所述多纤维磁力溅射装置用于加工多根金属弹性纤维，其特征在于：是由腔体，设置在腔体侧壁进线侧和出线侧设有旋转机构，安装在两侧旋转机构中间的膜管，吸附在腔体内壁的溅射承片台和阳极板，以及驱动旋转机构旋转的驱动装置A和驱动膜管转动的驱动装置B组成，所述旋转机构之间设有至少3根膜管，所述膜管上设有多个吸附孔，所述出线侧旋转机构上安装有齿轮A，所述齿轮A通过驱动装置A带动出线侧旋转机构转动，所述进线侧旋转机构上设有驱动装置B，所述膜管靠近进线侧旋转机构一端上设有齿轮B,所述齿轮B套装在膜管上，齿轮B通过驱动装置B驱动膜管旋转，所述旋转机构是由轴承A和转板组成，所述轴承A的外圈嵌装在腔体上，所述转板嵌装在轴承A的内圈中，所述转板上设有膜管安装孔，转板中心至少设有1个安装孔，其他安装孔呈环形分布在中心安装孔四周，膜管通过轴承B安装在转板安装孔中。

2.根据权利要求1所述一种多纤维磁力溅射装置，其特征在于：所述出线侧旋转机构中的齿轮A固定在轴承A内圈的侧面，通过驱动装置A驱动齿轮A转动，进而带动转板旋转。

3.根据权利要求1所述一种多纤维磁力溅射装置，其特征在于：所述进线侧旋转机构的转板上安装固定有驱动装置B，通过驱动装置B驱动膜管上的齿轮B旋转，进而使膜管旋转。

4.根据权利要求1所述一种多纤维磁力溅射装置，其特征在于：所述阳极板与溅射承片台相对分布，膜管设置在阳极板与溅射承片之间，所述溅射承片台与电源阴极连接，阳极板与电源阳极相连。

5.根据权利要求1所述一种多纤维磁力溅射装置，其特征在于：所述阳极板上设有多个放射体，所述放射体至少要与模管上的吸附孔数量相同，至少保证每个放射体与模管上的吸附孔一一对应。

6.根据权利要求1所述一种多纤维磁力溅射装置，其特征在于：所述阳极板上的放射体为锥型。

7.根据权利要求1所述一种多纤维磁力溅射装置，其特征在于：所述腔体中可以设有多个溅射承片台，在每个溅射承片台根据工艺安装有不同的金属粉末。

8.根据权利要求1所述一种多纤维磁力溅射装置，其特征在于：所述溅射承片台与膜管之间设有挡板，所述挡板的一侧铰接在腔体两侧。