[实用新型]一种磁力溅射装置

权利要求书

1.一种磁力溅射装置，所述磁力溅射装置用于生产金属弹性纤维，其特征在于：所述磁力溅射装置是由腔体，设置在腔体两端的装线装置和收线装置，设置在腔体中心的模管，以及吸附在腔体内壁的溅射承片台和阳极板组成，所述装线装置中设有通过电机驱动的放线轴，所述收线装置设有通过电机驱动的收线轴和微波加热装置，所述模管安装在装线装置和收线装置之间，其模管通过轴承固定，所述模管的一端还设有从动齿轮，所述从动齿轮通过驱动齿轮与电机连接，所述模管上设有过个吸附孔，通过电机驱动进行自传运动，所述溅射承片台分布在模管的上方的腔体内壁上，所述阳极板设置在模管的下方的腔体内壁上，阳极板与溅射承片台相对分布，所述溅射承片台与电源阴极连接。

2.根据权利要求1所述一种磁力溅射装置，其特征在于：所述阳极板上设有多个放射体，所述放射体至少要与模管上的吸附孔数量相同，至少保证每个放射体与模管上的吸附孔一一对应。

3.根据权利要求1所述一种磁力溅射装置，其特征在于：所述阳极板上的放射体为锥型。

4.根据权利要求1所述一种磁力溅射装置，其特征在于：所述腔体中可以设有多个溅射承片台，在每个溅射承片台根据工艺安装有不同的金属粉末。

5.根据权利要求1所述一种磁力溅射装置，其特征在于：所述微波加热装置主要是由一个箱体上至少两个微波加热头、至少一个弹性螺纹管以及至少一个冷却管组成，所述箱体中设有限位管，所述冷却管安装在限位管中，通过两端的固定件将其固定，所述螺纹管的一端固定在下端的固定件中，另一个固定件中设有管材锁紧装置，所述固定件中的管材锁紧装置在未锁紧状态下沿螺纹管滑动，所述微波加热头分布在限位管的外侧。

6.根据权利要求1所述一种磁力溅射装置，其特征在于：所述腔体为封闭空间，磁力溅射装置工作时需要对腔体抽真空。

7.根据权利要求1所述一种磁力溅射装置，其特征在于：所述溅射承片台和阳极板之间还设有挡板，所述挡板两端与腔体两端铰接，并在腔体外部设置旋转旋钮与挡板连接，所述挡板设置在模管和溅射承片台或阳极板之间。