[实用新型]制冷剂循环和清洁装置

说明书

本实用新型提供一种制冷剂循环和清洁装置，包括：具有输入端和输出端的第一管线，所述输入端能够与制冷设备的出口连通，所述输出端能够与所述制冷设备的入口连通；设置在所述第一管线上并且位于所述输入端与所述输出端之间的第一阀；第二管线，所述第二管线的一端在所述输入端与所述第一阀之间的第一位置处连通到所述第一管线，所述第二管线的另一端在所述第一阀与所述输出端之间的第二位置处连通到所述第一管线；以及依次设置在所述第二管线上的第二阀和过滤器。根据本实用新型的制冷剂循环和清洁装置，使得制冷剂的装填和清洁过滤变得简单高效，而且可以减少管线种类和数目，便于生产现场的储备和管理。

技术领域

本实用新型涉及制冷系统，尤其涉及在半导体工业中使用的制冷系统的制冷剂循环和清洁装置。

背景技术

在半导体工业中，通常需要将来自制冷设备的冷却剂输送到生产线上的生产设备例如芯片测试机中以便对芯片测试机进行冷却。图1示意性显示了制冷设备与生产设备之间的管线连接图。制冷设备1的出口3通过输出管线5连接到生产设备7的入口9，生产设备7的出口11通过输入管线13连接到制冷设备1的入口15。经过制冷设备1产生的低温制冷剂经过输出管线5流入生产设备7，制冷剂流过生产设备7内部的热交换管道之后再从生产设备7经过输入管线13流回到制冷设备1。在安装新的制冷设备时或者在对制冷设备中的制冷剂排空进行维护保养之后都需要对制冷设备装填制冷剂。图2示意性地显示了对制冷设备装填制冷剂时的状态。为了使制冷设备内部的管道都充满制冷剂，如图2所示，在对制冷设备装填制冷剂时，需要断开制冷设备1与生产设备7之间的连通，并且利用充填管线17将制冷设备1的出口3与制冷设备1的入口15连通，以便对制冷设备1快速装填制冷剂。由于生产设备7内部的热交换管道相对比较细小，为了防止生产设备7内部的热交换管道被堵塞以确保生产设备7得到充分冷却，在制冷剂流入生产设备7之前需要对制冷设备1中的制冷剂进行清洁过滤，以除去制冷剂中的杂质以及由水分结成的冰渣。图3示意性地显示了对制冷设备中的制冷剂进行清洁过滤的状态。如图3所示，在拆除了图2中的充填管线17之后，需要利用带有过滤器19的过滤管线21将制冷设备1的出口3与制冷设备1的入口15连通，随后需要较长时间对制冷设备1中的制冷剂进行循环过滤。在对制冷剂清洁过滤完成之后，才将制冷设备与生产设备连通起来。

由上所述可知，按照现有方式对制冷设备装填制冷剂并对制冷剂进行过滤时，需要先安装充填管线，在装填完制冷剂之后又需要拆除充填管线，接着再装上带有过滤器的过滤管线。这个过程耗时耗力，效率低下，而且在生产现场需要准备充填管线和过滤管线两种不同的管线，给管线的现场储备和管理造成困难。

因而，需要对制冷设备的现有制冷剂装填和清洁过滤管线进行改进。

实用新型内容

本实用新型的一个目的就是要提出一种改进的制冷剂循环和清洁装置，这种制冷剂循环和清洁装置不仅使得制冷剂的装填和清洁过滤变得简单高效，而且可以减少管线种类和数目，便于生产现场的储备和管理。

为此，根据本实用新型，提供一种制冷剂循环和清洁装置，包括：

具有输入端和输出端的第一管线，所述输入端能够与制冷设备的出口连通，所述输出端能够与所述制冷设备的入口连通；

设置在所述第一管线上并且位于所述输入端与所述输出端之间的第一阀；

第二管线，所述第二管线的一端在所述输入端与所述第一阀之间的第一位置处连通到所述第一管线，所述第二管线的另一端在所述第一阀与所述输出端之间的第二位置处连通到所述第一管线；以及

依次设置在所述第二管线上的第二阀和过滤器。

优选地，所述制冷剂循环和清洁装置还包括设置在所述第一管线上并且位于所述输入端与所述第一位置之间的流量计。