[实用新型]高密度电浆化学气相沉积设备及其射频电源机柜

权利要求书

1.一种高密度电浆化学气相沉积设备，其特征在于，包括：

多个反应腔体；以及

多个射频电源机柜，分别电性连接至该多个反应腔体，提供射频电源予各该反应腔体；其中各该射频电源机柜包含有：

一机壳；以及

多个切换式射频电源供应器，容置于该机壳内，并分别电性连接于市电交流电源与该多个反应腔体之间，将该市电交流电源予以脉宽调变并转换为一射频电源后，传送至对应的该反应腔体。

2.根据权利要求1所述的高密度电浆化学气相沉积设备，其特征在于，该多个切换式射频电源供应器叠设于该机壳内，且各该切换式射频电源供应器以一电缆线连接至对应的反应腔体。

3.根据权利要求1或2所述的高密度电浆化学气相沉积设备，其特征在于，各该切换式射频电源供应器包含：

一第一交直流转换电路，其第一输入端连接至该市电交流电源；其中该第一输入端为该切换式射频电源供应器的电源输入端；

一第一滤波电容，连接至该第一交直流转换电路的该第一输出端；

一变压器，包含有一次侧线圈及二次侧线圈；

一功率晶体管，串接于该第一滤波电容与该变压器的该一次侧线圈之间；

一稳压控制器，连接至该功率晶体管的控制端，并依据一脉宽调变信号控制该功率晶体管的启、闭；

一第二交直流转换电路，其第二输入端连接至该变压器的该二次侧线圈，其第二输出端连接至该稳压控制器；

一第二滤波电容，连接至该第二交直流转换电路的该第二输出端；

一旁漏电阻，并联于该第二滤波电容；以及

一射频放大器，连接该第二滤波电容及该旁漏电阻并联的两端，以提供并输出射频电源，该射频放大器的射频电源输出端为该切换式射频电源供应器的电源输出端。

4.根据权利要求1所述的高密度电浆化学气相沉积设备，其特征在于，其为8吋晶圆用的高密度电浆化学气相沉积设备。

5.一种高密度电浆化学气相沉积设备的射频电源机柜，其特征在于，包括：

一机壳；以及

多个切换式射频电源供应器，容置于该机壳内，并分别电性连接于市电交流电源与该高密度电浆化学气相沉积设备的其中一反应腔体之间，将该市电交流电源予以脉宽调变并转换为一射频电源后，传送至该反应腔体。

6.根据权利要求5所述的射频电源机柜，其特征在于，该多个切换式射频电源供应器叠设于该机壳内。

7.根据权利要求5或6所述的射频电源机柜，其特征在于，各该切换式射频电源供应器包含：

一第一交直流转换电路，其第一输入端连接至该市电交流电源；其中该第一输入端为该切换式射频电源供应器的电源输入端；

一第一滤波电容，连接至该第一交直流转换电路的该第一输出端；

一变压器，包含有一次侧线圈及二次侧线圈；

一功率晶体管，串接于该第一滤波电容与该变压器的该一次侧线圈之间；

一稳压控制器，连接至该功率晶体管的控制端，并依据一脉宽调变信号控制该功率晶体管的启、闭；

一第二交直流转换电路，其第二输入端连接至该变压器的该二次侧线圈，其第二输出端连接至该稳压控制器；

一第二滤波电容，连接至该第二交直流转换电路的该第二输出端；以及

一旁漏电阻，并联于该第二滤波电容；以及

一射频放大器，连接该第二滤波电容及该旁漏电阻并联的两端，以提供并输出射频电源，该射频放大器的射频电源输出端为该切换式射频电源供应器的电源输出端。