[实用新型]一种双阀盖真空挡板阀

说明书

本实用新型公开了一种双阀盖真空挡板阀，包括设置有第一通气孔的阀主体和用于控制第一通气孔打开或关闭的第一阀盖；第一阀盖上设置有导气通孔和连接孔，第一阀盖上还设置有第二阀盖；第二阀盖包括用于仅当贴合第一阀盖时才使导气通孔及连接孔均与阀主体的内腔不相连通的连接板、用于插入连接孔中并与连接孔滑动连接的滑动轴和用于限制滑动轴并使其无法滑离连接孔的限位件；连接板和限位件分置于第一阀盖的两侧。双阀盖真空挡板阀具备先导阀的功能，在安装使用时，便无需额外设置先导阀，从而有效地降低了成本。

技术领域

本实用新型涉及阀门技术领域，尤其涉及一种双阀盖真空挡板阀。

背景技术

目前大部分真空镀膜设备的粗真空管道除了需要设置真空挡板阀外，还需要设有先导阀，通过先导阀来降低前期的气流量，避免真空腔体内产生大量高速的气流。如果没有先导阀，则会产生高速气流，并致使腔壁膜层脱落并附着在被镀工件上。

但为安装先导阀需要另设排气管道，而这会增加成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种双阀盖真空挡板阀，用以解决现有技术中需要额外设置先导阀的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供了：一种双阀盖真空挡板阀，包括设置有第一通气孔的阀主体和用于控制所述第一通气孔打开或关闭的第一阀盖；

所述第一阀盖上设置有导气通孔和连接孔，所述第一阀盖上还设置有第二阀盖；

所述第二阀盖包括用于仅当贴合所述第一阀盖时才使所述导气通孔及所述连接孔均与所述阀主体的内腔不相连通的连接板、用于插入所述连接孔中并与所述连接孔滑动连接的滑动轴和用于限制所述滑动轴并使其无法滑离所述连接孔的限位件；

所述连接板和所述限位件分置于所述第一阀盖的两侧。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第一阀盖的横截面面积大于所述第二阀盖的横截面面积。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第一阀盖上设置有用于使所述第一通气孔与所述阀主体的内腔不相连通的第一密封圈。

作为上述技术方案的进一步改进，所述连接板上设置有用于使所述导气通孔和所述连接孔与所述阀主体的内腔不相连通的第二密封圈。

作为上述技术方案的进一步改进，所述阀主体上设置有盖板，所述盖板上设置有驱使所述第二阀盖移动的驱动装置。

作为上述技术方案的进一步改进，所述驱动装置包括气缸，所述气缸的活塞杆与所述连接板固定连接。

作为上述技术方案的进一步改进，所述气缸的活塞杆上固定设置有套环，所述套环与所述连接板固定连接。

作为上述技术方案的进一步改进，所述阀主体上设置有第二通气孔。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第一通气孔位于所述阀主体的底部；

所述第二通气孔位于所述阀主体的侧面。

作为上述技术方案的进一步改进，所述限位件包括固定环，所述固定环套设于所述滑动轴上并与之固定连接。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提出一种双阀盖真空挡板阀，包括设置有第一通气孔的阀主体和用于控制第一通气孔打开或关闭的第一阀盖；第一阀盖上设置有导气通孔和连接孔，第一阀盖上还设置有第二阀盖；第二阀盖包括用于仅当贴合第一阀盖时才使导气通孔及连接孔均与阀主体的内腔不相连通的连接板、用于插入连接孔中并与连接孔滑动连接的滑动轴和用于限制滑动轴并使其无法滑离连接孔的限位件；连接板和限位件分置于第一阀盖的两侧。