[实用新型]一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置

说明书

一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置，包括装卡环、装卡板、球头螺杆、球头连接螺母；本装卡装置在使用时，装卡板与三瓣石墨毛坯的接触为圆弧面接触，接触面积远远大于现有装卡装置的螺栓端部与三瓣石墨毛坯的接触面积；同时装卡板在球头螺杆的旋转作用下，可沿着装卡板导杆与装卡环导向孔的配合做纯径向运动，完全避免了在装卡固定三瓣石墨毛坯时装卡板的旋转运动；因此本装卡装置完全解决了以往的三瓣石墨坩埚成品表面残留加工缺陷的问题，提高了三瓣石墨坩埚的最终成品质量。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅拉伸用石墨坩埚加工技术领域，具体涉及一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置。

背景技术

现有的单晶硅拉伸用石墨坩埚为三瓣拼接式结构，为防止单晶硅拉伸生产时出现液态硅材料出现漏液问题，对石墨坩埚三瓣拼合的精度有较高的要求；为达到此要求，三瓣石墨坩埚的生产采用预先加工出三瓣石墨毛坯，将三瓣石墨毛坯拼合成整体，用装卡装置固定后进行加工；传统的装卡装置是采用周向均匀设置螺纹孔的装卡环，然后通过螺纹孔用螺栓直接压紧在三瓣石墨坩埚毛坯的外圆面；但此装置在装卡固定三瓣石墨坩埚毛坯的过程中，存在螺栓端部面积小、螺栓端部与三瓣石墨毛坯表面存在相对旋转运动的问题，因此螺栓端部会顶伤三瓣石墨坩埚毛坯的表面，造成三瓣石墨坩埚成品的表面残留有加工缺陷，最终影响了三瓣石墨坩埚成品的质量。

实用新型内容

为了克服背景技术中的不足，本实用新型公开了一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置；本装卡装置包括装卡环、装卡板、球头螺杆、球头连接螺母；所述装卡环上均匀设置有装卡环螺纹孔和装卡环导向孔；装卡板上设置有装卡板球头座和装卡板导杆；球头螺杆设置有球头；所述装卡板的装卡板导杆设置在装卡环的装卡环导向孔中，球头螺杆设置在装卡环的装卡环螺纹孔中，球头螺杆的球头设置在装卡板球头座中，球头连接螺母将装卡板与球头螺杆连接在一起；装卡装置在使用时，装卡板与三瓣石墨坩埚毛坯的接触为圆弧面接触，接触面积远远大于现有装卡装置的螺栓端部与三瓣石墨坩埚毛坯的接触面积；同时装卡板在球头螺杆的旋转作用下，可沿着装卡板导杆与装卡环导向孔的配合做纯径向运动，完全避免了装卡板的旋转运动；因此本装卡装置完全解决了以往的三瓣石墨坩埚成品表面残留加工缺陷的问题，提高了三瓣石墨坩埚的最终成品质量。

为了实现所述实用新型目的，本实用新型采用如下技术方案：一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置，包括装卡环、装卡板、球头螺杆、球头连接螺母；所述装卡环为环状，沿装卡环周向均匀设置有若干个装卡环螺纹孔，所述每个装卡环螺纹孔两侧对称设置有两个装卡环导向孔；所述装卡板包括装卡板本体、装卡板球头座、装卡板导杆，装卡板本体为圆弧板状，装卡板本体外圆周上设置有装卡板球头座，装卡板球头座为短圆柱状，短圆柱外圆设置有连接螺纹，短圆柱端面设置有球形凹槽，装卡板球头座两侧对称设置有装卡板导杆；所述装卡板的装卡板导杆设置在装卡环导向孔中；所述球头螺杆一端设置有球头，另一端设置有锁紧头，球头螺杆的球头设置在装卡板球头座的球形凹槽中，球头螺杆的螺纹与装卡环的装卡环螺纹孔啮合；所述球头连接螺母内侧上部设置有球形面，球头连接螺母设置在装卡板的装卡板球头座处。

优选的，所述装卡板内侧圆弧直径等于需装卡加工的三瓣石墨坩埚成品的外径，保证装卡板与三瓣石墨坩埚成品的外圆的接触面价最大。

优选的，所述装卡环的装卡环导向孔为长槽孔；装卡环在装卡三瓣石墨毛坯时，因三瓣石墨毛坯的外径大于三瓣石墨坩埚成品的外径，因此装卡环会发生弹性变形，长槽孔用于装卡环发生弹性变形时导引装卡板导杆的摆动。

优选的，所述装卡板的装卡板球头座球形凹槽与球头螺杆的球头之间设置有间隙；所述球头连接螺母的球形面与球头螺杆的球头之间设置有间隙；使球头螺杆锁紧装卡板时，球头螺杆的球头与装卡板球头座之间产生滑动。

优选的，所述装卡板的装卡板球头座的球形凹槽与球头螺杆的球头之间、球头连接螺母的球形面与球头螺杆的球头之间设置有润滑油，用于减小球头螺杆锁紧装卡板时，球头螺杆的球头与装卡板球头座之间的摩擦力。