[实用新型]一种太阳能电池片电增强氢钝化炉电注入机构

说明书

本实用新型公开了太阳能领域内的一种太阳能电池片电增强氢钝化炉电注入机构，包括圆形转台底板，转台底板上经侧隔板、后隔板分成多个电注入仓，电注入仓顶部设置有上盖板，电注入仓内位于转台底板上安装有下电极组件，下电极组件包括安装在下绝缘座上的下电极，下电极上设置有托料板，下电极组件上方设置有可升降的上电极组件，上电极组件包括由下至上布置的上电极、上绝缘座、上电极气缸以及一对导杆，上电极固定在上绝缘座底部，上绝缘座顶部连接导杆，导杆穿过上盖板设置，上盖板上还设置有上电极气缸，上电极气缸的活塞杆连接在上电极绝缘座上，通过使用本实用新型可同时进行上片与电注入工艺，提高工作效率，可用于光伏电池片的生产中。

技术领域

本实用新型涉及一种钝化设备，特别涉及一种氢钝化炉。

背景技术

目前，商用晶体硅太阳能电池所采用的硅晶体中通常含有大量的杂质和结构缺陷。这些杂质和缺陷包括：硼与氧形成的复合体、过渡金属杂质、位错、晶界等。它们作为光生载流子的复合中心使电池基体中的少数载流子寿命下降，从而使太阳能电池的转换效率相应地降低。

实验表明氢原子在硅晶体中能够与其中多数的杂质和缺陷反应，钝化这些复合中心使其复合活性降低，从而改善太阳能电池的电学性能。太阳能电池中的氢可来源于电池表面沉积的富含氢的氮化硅薄膜或者其他富含氢的薄膜、氢等离子体气氛等。然而经过常规的太阳能电池制造流程，只有极少量的氢原子进入电池基体内部对杂质和缺陷起到钝化作用。所以通过充分发挥氢的钝化作用可以进一步发掘太阳能电池转换效率的提升空间。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种太阳能电池片电增强氢钝化炉电注入机构，提高加工效率。

本实用新型的目的是这样实现的：一种太阳能电池片电增强氢钝化炉电注入机构，包括圆形转台底板，所述转台底板上经侧隔板、后隔板分成多个电注入仓，电注入仓顶部设置有上盖板，电注入仓内位于转台底板上安装有下电极组件，所述下电极组件包括安装在下绝缘座上的下电极，下电极上设置有托料板，所述下电极组件上方设置有可升降的上电极组件，所述上电极组件包括由下至上布置的上电极、上绝缘座、上电极气缸以及一对导杆，所述上电极固定在上绝缘座底部，所述上绝缘座顶部连接导杆，所述导杆穿过所述上盖板设置，所述上盖板上还设置有上电极气缸，所述上电极气缸的活塞杆连接在上电极绝缘座上。

本实用新型工作时，先控制上电极组件上升，通过机械手配合吸盘将待加工的太阳能电池片放置在托料板，放置完成后，控制转台底板旋转至电注入工位，控制上电极组件下降，使得太阳能电池片夹紧在上电极组件与下电极组件之间，分别对上电极组件和下电极组件通电，进行电注入处理，同时，进行下一电注入仓的太阳能电池片放置，如此循环。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于，通过使用本实用新型可同时进行上片与电注入工艺，与现有技术相比，大大提高了工作效率。本实用新型可用于光伏电池片的生产中。

为了使得放入托料板更加整齐、方便，所述下绝缘座的四周设置有导料杆，形成料盒。

作为本实用新型的进一步限定，所述导料杆设置有八根，每侧设置有两根。

作为本实用新型的进一步限定，所述导料杆的顶部加工有导向楔面。

为了保证产品质量，避免因温度过高影响良品率，所述料盒的两旁设置有吹气控温组件，所述吹气控温组件包括固定在侧隔板上的吹气盒，吹气盒侧面开设有一排吹气孔，吹气盒端部连接有进气管。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型内部结构示意图。

图3为本实用新型中下电极组件、上电极组件结构示意图。