[实用新型]支撑组件及采用该支撑组件的掩膜板支架

说明书

本实用新型提供了一种支撑组件及采用该支撑组件的掩膜板支架，所述支撑组件包括基座、可移动设置在所述基座上的调节块；所述支撑组件还包括驱使所述调节块沿第一水平方向移动的第一调节机构、驱使所述调节块沿垂直于第一水平方向的第二水平方向移动的第二调节机构及用以将所述调节块锁定在所述基座上的锁紧机构。所述掩膜板支架包括前述支撑组件及顶销，所述调节块沿竖直方向开设有用以安装所述顶销的安装孔。所述支撑组件及掩膜板支架便于所述调节块与顶销的位置调节，提高工作效率，降低维护时间；还能够精确锁定调节块的位置，减小偏移，改善掩膜板取放过程中的卡顿现象，提高传入精度。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，特别涉及一种支撑组件及采用该支撑组件的掩膜板支架。

背景技术

蒸镀是一种重要的薄膜材料制备方法，如有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)的有机材料就是通过蒸镀的方式沉积在基板的既定位置，上述蒸镀过程需采用相应的掩膜板(Mask)。现有蒸镀设备承载Mask的掩膜板支架通过相应的支撑结构及Cassette Pin实现Mask的支撑与定位，当机械手抬起Mask时可能出现卡顿现象，导致机械手出现较大晃动，影响Mask传入精度，造成Mask传入位置偏移而无法对位的设备异常。另一方面，前述Cassette Pin的位置调节不便，现场操作复杂。

鉴于此，有必要提供一种新的支撑组件及采用该支撑组件的掩膜板支架。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种支撑组件及采用该支撑组件的掩膜板支架，便于对调节块及顶销进行位置调节与固定，提升工作效率，减少设备宕机时间；并可改善掩膜板取放时可能出现的卡顿现象，减小偏移，提高传入精度。

为实现上述实用新型目的，本实用新型提供一种支撑组件，包括基座、可移动设置在所述基座上的调节块；所述支撑组件还包括驱使所述调节块沿第一水平方向移动的第一调节机构、驱使所述调节块沿垂直于第一水平方向的第二水平方向移动的第二调节机构及用以将所述调节块锁定在所述基座上的锁紧机构。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一调节机构包括沿第一水平方向延伸且在所述第一水平方向相对所述基座固定设置的第一调节螺栓，所述调节块沿第一水平方向设有与所述第一调节螺栓相配合的第一调节孔，所述第一调节螺栓探伸入第一调节孔，以使得所述第一调节螺栓进行旋转时，所述调节块沿所述第一水平方向移动。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一调节机构还包括固定在所述基座上的第一固定块，所述第一固定块与基座之间形成有沿第二水平方向延伸的滑行槽，所述第一调节螺栓穿设于所述滑行槽且可沿所述第二水平方向在所述滑行槽内滑动。

作为本实用新型的进一步改进，所述第二调节机构包括沿第二水平方向延伸且在所述第二水平方向相对所述基座固定设置的第二调节螺栓。

作为本实用新型的进一步改进，所述第二调节机构还包括在第二水平方向与所述调节块相固定的驱动块，且所述调节块相对所述驱动块可沿第一水平方向往复移动，所述驱动块沿第二水平方向开设有与所述第二调节螺栓相配合的第二调节孔，所述驱动块与调节块两者可沿所述第二水平方向一并移动。

作为本实用新型的进一步改进，所述第二调节机构还包括固定在所述基座上的第二固定块，所述第二调节螺栓设置于所述第二固定块与基座之间。

作为本实用新型的进一步改进，所述锁紧机构包括沿第一水平方向开设于所述调节块上的第一条形孔、沿第二水平方向开设于所述基座上的第二条形孔以及穿设于所述第一条形孔与第二条形孔中的锁紧螺栓。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一条形孔内形成有与所述锁紧螺栓相配合的固定台阶，所述锁紧螺栓沿竖直方向不超出所述调节块的上表面。