[实用新型]一种气敏材料测量装置

说明书

本实用新型属于半导体气体传感器技术应用技术领域，公开了一种气敏材料测量装置，包括壳体，及设于所述壳体内的混合气体输入组件和气室；所述混合气体输入组件包括进气管、流量计、混气池、风机和混气管；所述进气管有多条，均与所述混气池连通；所述流量计与所述进气管的数量相适应，且一一对应设置于所述进气管上；所述风机设于所述混气池内；所述混气管连通所述混气池和气室；所述气室内设置夹具平台；所述壳体设有用于封闭所述气室开口的上盖，该上盖设有光源注入窗。与现有技术相比，本实用新型的有益效果包括：采用流气的测试方式，为测试提供变量多样、准确、稳定的动态测试的测试环境。

技术领域

本实用新型涉及半导体气体传感器技术应用技术领域，尤其是涉及一种气敏材料测量装置。

背景技术

在半导体气体传感器的研制过程中需要研究传感器在不同环境和工作条件下的气体响应特性，即将传感器放置于气室中，在气室里注入己知浓度的某种气体，通过采集传感器的响应信号，可以获得该传感器对这种气体的气敏响应特性，从而衡量传感器的优劣，总结摸索出最佳的工作状态。

目前研究半导体气体传感器的气体响应特性有静态和流气两种测试方式。进行静态测试的系统通常采用密闭的大容量气室，通过注入样品气体并在容器中均匀混合成一定体积的测试气体，这种测试方法的设备较为简单，但气室中器件上样品气体的脱附时间较长，不适合进行大量(多种类)的气体测试。而采用流气的方式是在一个时间段内，向较小容量气室中通入一定浓度的样品气体，保持气流的流量恒定，并采集这时间段的传感器响应数据，这种方式由于气室较小，清洗残留气体时间较短，传感器器件可以很快恢复到初始状态，可以快速进行重复性实验，尤其是在进行传感器阵列的气敏特性研究时是很有利的。但是采用流气方式的现有测量设备存在如下缺陷：各种纯气体难以在高动态、低浓度范围内充分混合，而且难以满足所需要的浓度和精度要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述技术不足，提出一种气敏材料测量装置，解决现有技术中采用流气的测试方式时，各种纯气体难以在高动态、低浓度范围内充分混合的技术问题。

为达到上述技术目的，本实用新型的技术方案提供一种气敏材料测量装置，包括壳体，及设于所述壳体内的混合气体输入组件和气室；

所述混合气体输入组件包括进气管、流量计、混气池、风机和混气管；所述进气管有多条，均与所述混气池连通；所述流量计与所述进气管的数量相适应，且一一对应设置于所述进气管上；所述风机设于所述混气池内；所述混气管连通所述混气池和气室；

所述气室内设置夹具平台；

所述壳体设有用于封闭所述气室开口的上盖，该上盖设有光源注入窗。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果包括：采用流气的测试方式，为测试提供变量多样、准确、稳定的动态测试的测试环境。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是混合气体输入组件的结构示意图；

图3是图2中A-A面截面图；

图4是气体温度调节组件的剖视图；

图5是图4中B-B面截面图；

图6是夹具平台的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1所示，本实用新型提供了一种气敏材料测量装置，包括壳体1，及设于所述壳体1内的混合气体输入组件2和气室3。