[实用新型]一种基于激光打标机工作台的加持定位样品托盘

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种基于激光打标机工作台的加持定位样品托盘，其不同之处在于：其盘体表面设置有多个基片放置槽，所述多个基片放置槽按垂直于盘体表面的方向依次层叠，且尺寸由槽底向盘体表面方向依次增大，用于放置基片；装夹槽，位于基片放置槽的边缘，用于方便使用装夹工具对基片进行装夹操作；固定孔，位于盘体四周，用于安装定位。本实用新型兼容多尺寸基片，可方便地固定基片并确定标记在基片上的位置。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种基于激光打标机工作台的加持定位样品托盘。

背景技术

在半导体制造行业中，我们通常使用激光打标机来作为基片标记的工具，在激光打标机的工作台上会使用样品托盘来放置基片，基片有多种不同尺寸，对不同尺寸的基片进行固定的同时又能够固定标记在基片中的位置是我们目前需要解决的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种基于激光打标机工作台的加持定位样品托盘，兼容多尺寸基片，可方便地固定基片并确定标记在基片上的位置。

为解决以上技术问题，本实用新型的技术方案为：一种基于激光打标机工作台的加持定位样品托盘，其不同之处在于：其盘体表面设置有多个基片放置槽，所述多个基片放置槽按垂直于盘体表面的方向依次层叠，且尺寸由槽底向盘体表面方向依次增大，用于放置基片；装夹槽，位于基片放置槽的边缘，用于方便使用装夹工具对基片进行装夹操作；固定孔，位于盘体四周，用于安装定位。

按以上方案，所述装夹槽为圆形凹槽。

按以上方案，所述装夹槽的深度大于基片放置槽的深度。

按以上方案，所述装夹槽的直径为8~10mm，深度为1~1.3mm。

按以上方案，所述基片放置槽的槽壁由连成一体的下部平面形槽壁和上部圆弧形槽壁构成。

按以上方案，所述多个基片放置槽的下部平面形槽壁位于同一平面上，且装夹槽的圆心位于基片放置槽的下部中心点。

按以上方案，所述装夹槽的圆心与多个基片放置槽的圆心在同一条直线上。

按以上方案，所述基片放置槽的尺寸大于基片尺寸。

按以上方案，样品托盘的盘体为矩形结构。

按以上方案，所述基片放置槽有三个，其直径分别为95~105mm、75~80mm、50~53mm，其圆心距样品托盘盘体底边的距离分别为100~107mm、90~95mm、78~82mm，基片放置槽的底部边缘平行于样品托盘的底边且距其53~58mm。

由上述方案，本实用新型可实现多尺寸兼容加持；基片加持过程简单不损坏基片；以基片底部为定位点，在打标位置坐标确定的情况下可确定标记在基片上的位置，效率高、结构简单成本低。

附图说明

图1为本实用新型实施例整体结构示意图；

图2为图1中X剖面结构示意图；

其中：1-盘体、2-基片放置槽、3-装夹槽、4-固定孔。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在下文中，将参考附图来更好地理解本实用新型的许多方面。附图中的部件未必按照比例绘制。替代地，重点在于清楚地说明本实用新型的部件。此外，在附图中的若干视图中，相同的附图标记指示相对应零件。