[实用新型]等离子发生器水冷阴极头

权利要求书

1.等离子发生器水冷阴极头，包括:上端为尖形体的柱状的第一中心座(3),第一中心座下端内孔装发射体,其特征是：

1)第一中心座(3)外周径向间隔第一距离(B)处设有筒状的第一外冷壁(1)；第一中心座和第一外冷壁两者由底端的第一密封环底(3.1)连接为一件发热整体；且第一密封环底内腔形成环状第一回水槽(4)；第一中心座下端内孔发射体采用第一合金钨柱体(5)；除第一合金钨柱体外的发热整体三构件均采用紫铜；第一外冷壁外螺纹与上方阴极的水冷套下螺纹段(6.1)啮合,形成第一外冷壁螺纹段(2)；

2)第一合金钨柱体放电面采用平面(5.1)。

2.按权利要求1所述等离子发生器水冷阴极头，其特征是：第一水冷套(6)外表面套有黄铜支撑环(10),黄铜支撑环上端内孔与水冷套上螺纹段(6.2)间为螺纹连接(10.1),黄铜支撑环下端外表面与外周阴极的绝缘座(8)为相嵌连接(10.2),绝缘座固定于阴极的不锈钢座(9)上；设用于径向压紧黄铜支撑环、绝缘座和不锈钢座的黄铜螺帽(9.1)。

3.等离子发生器水冷阴极头，包括上端为尖形体的柱状第二中心座(3A),第二中心座(3A)下端内孔装发射体,其特征是：

1)第二中心座(3A)外周径向间隔第二距离(Ba)处设有筒状的第二外冷壁(1A)；第二中心座和第二外冷壁两者由底端的第二密封环底(3.1A)连接为一件发热整体；且密封环底内腔形成环状第二回水槽(4A)；第二中心座下端内孔发射体采用第二合金钨柱体(5A)；除第二合金钨柱体外的发热整体三构件均采用紫铜；第二外冷壁(1A)的外螺纹与上方阴极的第二水冷套下螺纹段(6.1A)啮合,形成第二外冷壁螺纹段(2A)；

2)第二合金钨柱体放电面采用圆弧面(5.1A)；

3)第二中心座(3A)外周设有用于第二水冷套下螺纹段(6.1A)和第二外冷壁螺纹段(2A)安装定位的环状凸台(3.2A)。

4.按权利要求3所述等离子发生器水冷阴极头，其特征是：第二水冷套(6A)外表面开有与外部阴极的绝缘套(8A)配合的密封环槽(6.4A)；第二水冷套(6A)外表面套装有绝缘套(8A)和气环(9A),绝缘套和气环间有轴向螺纹连接(8.1A)；气环下端(9.1A)插入阳极上端(10A)的U形孔(10.1A)内；气环外表面有螺旋气槽；第二水冷套顶部装有水冷套压紧螺母(11A)。