[实用新型]一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，且公开了一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，包括底座，所述底座顶部固定安装有支撑架，所述支撑架的顶部固定安装有真空室，所述真空室的顶部固定安装有电子发生器，所述电子发生器的底部固定连接有枪头。该带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，通过加热电阻可以在真空条件下对镀膜产品上残留的水进行加热烘干处理，使得产品更加干净，也增强了产品表面活性，增加镀膜质量，在真空条件下能够有效的防止产品的氧化，通过设置加热室将加热电阻进行密封可以保证镀膜不会镀膜在加热电阻上，保证了加热电阻能够进行可靠的工作，通过玻璃观察窗可以对真空室内的镀膜产品进行观察。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中。

由于镀膜产品前期需要表面处理然后清洗烘干，即使烘干表面也会有潮气存在，潮气会影响镀膜效率和质量，而且在进行镀膜时一次只能装有一定量需要进行镀膜的产品，当第一批产品镀膜完成以后再将产品拿下在工件架上装上另一批需要镀膜的产品，这种方式的效率太低，浪费了大量的时间。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，具备效率高，镀膜产品的质量较高的优点，解决了传统的镀膜装置效率低而且产品表面容易残留水分容易导致镀膜效率低和质量不好的问题。

本实用新型提供如下技术方案：一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，包括底座，所述底座顶部固定安装有支撑架，所述支撑架的顶部固定安装有真空室，所述真空室的顶部固定安装有电子发生器，所述电子发生器的底部固定连接有枪头，所述枪头的底部贯穿真空室并延伸至真空室的内部，所述真空室的顶部固定安装有真空表，所述真空室内腔的侧面固定安装有加热室，所述加热室的内部固定安装有加热电阻，所述底座的顶部固定安装有真空泵，所述真空泵的输出端固定连通有真空连接管，所述真空连接管的另一端与真空室的底部相连通，所述真空室的右侧面固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定安装有第一皮带轮，所述真空室内腔的底部固定安装有第一轴承，所述第一轴承的内部固定套装有传动轴，所述传动轴顶部的外表面固定套装有第一齿轮，所述真空室的底部固定粘接有橡胶堵，所述传动轴的底部贯穿橡胶堵并延伸至真空室的底部且固定套装有第二皮带轮，所述第二皮带轮通过皮带与第一皮带轮传动连接，所述真空室的左侧面固定安装有铰接装置，所述铰接装置的侧面固定连接有第一密封门，所述第一密封门的正面固定安装有玻璃观察窗，所述第一密封门的正面固定粘接有密封圈，所述第一密封门内腔的底部固定安装有第二轴承，所述第二轴承的内圈固定套装有转动轴，所述转动轴的外表面固定安装有工件架，所述转动轴的外表面固定第二齿轮，所述第一密封门的侧面固定连接有卡接座，所述卡接座的内部活动安装有插接杆。

优选的，所述真空室的左侧面通过铰接装置活动安装有第二密封门，所述第二密封门与第一密封门上安装的部件均相同。

优选的，所述真空室的侧面固定安装有与插接杆相适配的插接槽。

优选的，所述加热室的数量为两个，两个所述加热室以真空室的中线为对称轴对称分布。

优选的，所述工件架的数量为六个，六个所述工件架的平面之间的角度差为°。

与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：