[实用新型]一种紧凑高效异型件超厚膜层设备

权利要求书

1.一种紧凑高效异型件超厚膜层设备，包括真空室壳体(9)，其特征在于：所述真空室壳体(9)上端固定焊接有第一分子泵法兰接口(1)，所述真空室壳体(9)的前端右侧和后侧左侧均固定焊接有金属离子注入法兰接口(2)，所述真空室壳体(9)的前端中部固定焊接有样品导入法兰接口(3)，所述真空室壳体(9)的前侧左下部和右下部均焊接有磁过滤沉积法兰接口，所述真空室壳体(9)的下端中部焊接有第二分子泵法兰接口(5)，所述真空室壳体(9)的后端中部焊接有加热管法兰接口(6)，所述真空室壳体(9)的左侧上部固定连接有自动观察窗(7)，所述真空室壳体(9)的左侧下部固定连接有抽真空管道连接法兰(8)，所述磁过滤沉积法兰接口(4)与磁过滤阴极弧法兰座(10)相连，所述磁过滤阴极弧法兰座(10)的内腔侧壁固定连接有磁过滤阴极(11)，所述磁过滤阴极弧法兰座(10)的下端固定连接有阳极筒(14)，所述阳极筒(14)的外侧上下侧套接有脉冲线包(12)、和聚焦线包(13)，所述阳极筒(14)的下端通过法兰连接有磁过滤湾管(15)，所述磁过滤湾管(15)的外侧上部套接有过渡线包(16)，所述磁过滤湾管(15)的外侧中部和下部套接有高脉冲线包(17)，所述金属离子注入法兰接口(2)通过连接法兰(19)连接离子发生装置(18)，所述离子发生装置(18)包括离子注入阴极靶(181)、辅助阳极板(182)、引出电极和加速电极(183)和聚焦电极(184)。

2.根据权利要求1所述的一种紧凑高效异型件超厚膜层设备，其特征在于：所述离子注入阴极靶(181)通过导线和第一电源串联，所述辅助阳极板(182)和第二电源以及电阻串联，所述第二电源和电阻并联，所述电阻与加速电极(183)和聚焦电极(184)相连。

3.根据权利要求1所述的一种紧凑高效异型件超厚膜层设备，其特征在于：所述第一分子泵法兰接口(1)和第二分子泵法兰接口(5)上下对应设置，所述第一分子泵法兰接口(1)和第二分子泵法兰接口(5)通过管道连接分子泵。

4.根据权利要求1所述的一种紧凑高效异型件超厚膜层设备，其特征在于：所述加热管法兰接口(6)通过管道连接供热设备，供热设备为气源加热设备。

5.根据权利要求1所述的一种紧凑高效异型件超厚膜层设备，其特征在于：所述第一分子泵法兰接口(1)、金属离子注入法兰接口(2)、样品导入法兰接口(3)、磁过滤沉积法兰接口(4)、第二分子泵法兰接口(5)、加热管法兰接口(6)和抽真空管道连接法兰(8)均通过管道与真空室壳体(9)相连通，且各个所述管道上均设有开关阀。