[实用新型]TEM样品杆及TEM机台

说明书

本实用新型提供了一种TEM样品杆及TEM机台。所述TEM样品杆包括杆身、位于所述杆身的一端的样品放置部、与所述杆身的另一端连接的手持部以及设置于所述手持部的气泡平衡仪。应用本实用新型提供的TEM样品杆，可以监控并以此调节实际操作过程中TEM样品杆的水平度及角度，从而改善TEM机台主体仓破真空的问题。

技术领域

本实用新型涉及透射电子显微镜技术领域，特别是涉及一种TEM样品杆及TEM机台。

背景技术

对于半导体器件的失效分析而言，透射电子显微镜(Transmission ElectronMicroscope，TEM)是不可或缺的分析仪器。利用TEM机台对样品进行分析，需要将样品薄片通过TEM样品杆由TEM机台的过渡仓传送到主体仓中进行拍摄，待拍摄完毕，将TEM样品杆从样品仓中拔出并取出样品，然后放入下一个样品进行拍摄，如此反复。

然而，使用目前的TEM样品杆在传输样品的过程中，利用了TEM样品杆杆身上的O型密封圈与过渡仓通道的紧密贴合来保证主体仓的真空度，如果推送时TEM样品杆不够水平，O型密封圈与过渡仓之间会由于贴合度不够而出现缝隙，从而导致主体仓破真空。在破真空状态下，TEM机台无法进行样品的拍摄，不仅耽误测样的时间，影响TEM机台的使用效率，造成样品积压，且频繁的破真空易损耗TEM机台的性能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种TEM样品杆及TEM机台，以保持TEM样品杆水平度进而改善主体仓破真空的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种TEM样品杆，包括杆身、位于所述杆身的一端的样品放置部、与所述杆身的另一端连接的手持部以及设置于所述手持部的气泡平衡仪。

可选的，所述手持部为圆柱形结构，且一端部与所述杆身的另一端连接。

可选的，所述气泡平衡仪为环形结构，且套设于所述手持部的外周壁。

可选的，所述气泡平衡仪为圆盘形结构，且设于所述手持部的自由端，所述气泡平衡仪的轴线与所述手持部的轴线相重合。

可选的，所述气泡平衡仪的外周壁设有沿周向延伸的安全标记线，用于衡量所述TEM样品杆的水平度。

可选的，所述安全标记线的数量为2个，且两条所述安全标记线互相平行。

可选的，所述手持部的外周壁设有沿周向布置的多个标记，用于标识出所述TEM样品杆在使用过程中所述气泡平衡仪中气泡相对于所述手持部的位置。

可选的，所述手持部的外周壁设有沿周向均匀分布的刻度线标记。

可选的，所述手持部的外周壁设有两处位置标记，其中一处位置标记用于标识将所述TEM样品杆插入一过渡仓时所述气泡平衡仪中气泡相对于所述手持部的位置，另一处位置标记用于标识旋转所述TEM样品杆完毕后所述气泡平衡仪中气泡相对于所述手持部的位置。

本实用新型还提供了一种TEM机台，包括一过渡仓、一主体仓、设置于所述过渡仓和所述主体仓之间的球阀、以及配置有如上任一项所述的TEM样品杆。

综上所述，本实用新型提供了一种TEM样品杆及TEM机台，通过观察设置在手持部的气泡平衡仪，可以监控操作过程中TEM样品杆的水平度，改善因水平度不够导致主体仓破真空的问题，减少TEM机台停机时间，从而减少样品积压，同时降低对TEM机台性能的损耗。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的一种TEM样品杆的结构示意图；

图2A是表示图1所示TEM样品杆在水平时气泡所在位置的示意图；

图2B是表示图1所示TEM样品杆在向后倾斜时气泡所在位置的示意图；