[实用新型]一种芯片高效切割装置有效

专利信息
申请号: 201920386068.6 申请日: 2019-03-22
公开(公告)号: CN209698277U 公开(公告)日: 2019-11-29
发明(设计)人: 蔡志宏;王锟;张文 申请(专利权)人: 武汉芯荃通科技有限公司
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70
代理公司: 11617 北京瑞盛铭杰知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 郑海松<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 430000 湖北省武汉市江夏区经济开发区藏龙岛梁*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 滑槽 滑板 底座 隔板 侧挡板 固定杆 本实用新型 工作效率 螺栓固定 方槽 切割机 高效切割装置 内部连接 芯片切割 内连接 位置处 横板 工作量 芯片
【说明书】:

实用新型涉及芯片切割技术领域,尤其为一种芯片高效切割装置,包括底座,所述底座上固定连接有侧挡板,所述侧挡板上开设有第一滑槽,所述第一滑槽内部连接有滑板,所述滑板远离地面一侧开设有第一凹槽,所述第一滑槽内部且远离底座一侧开设有第一方槽,所述第一方槽内连接有隔板,所述隔板远离滑板一侧固定连接有固定杆,所述第一滑槽内靠近地面一侧且固定杆位置处对应开设有第二凹槽,所述侧挡板远离底座一侧连接有横板。本实用新型中,通过设置第一滑槽,滑板,第一凹槽,隔板,固定杆,不需要使用螺栓固定,减少了工作量,提高了工作效率,解决了目前切割机使用螺栓固定,工序过多,工作效率低的问题。

技术领域

本实用新型涉及芯片切割技术领域,具体为一种芯片高效切割装置。

背景技术

在一个半导体晶圆上,通常有几百个至数千个芯片连在一起,它们之间一般留有间隙,此间隙被称之为切割道。将每一个具有独立电气性能的半导体芯片分隔或分离出来的过程叫做切割,在芯片制做过程中,切割是一个非常重要的环节,目前切割工艺有两种:锯片切割和激光切割。

目前市面上的切割方法以锯片切割为主,其需要将芯片固定在固定板上,再将固定板的长形孔对准工作台上的螺孔,依序将数个螺栓螺入固定,但在数个螺栓尚未完全螺入固定前,固定板会有偏移滑动现象,需经数次的对位方能将全部的螺栓螺入使固定板固定于本体上,使用上极为不便,芯片切割效率低下,因此需要一种高效的芯片切割装置来改善这一问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种芯片高效切割装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种芯片高效切割装置,包括底座,所述底座上固定连接有侧挡板,所述侧挡板上开设有第一滑槽,所述第一滑槽内部连接有滑板,所述滑板远离地面一侧开设有第一凹槽,所述第一滑槽内部且远离底座一侧开设有第一方槽,所述第一方槽内连接有隔板,所述隔板远离滑板一侧固定连接有固定杆,所述第一滑槽内靠近地面一侧且固定杆位置处对应开设有第二凹槽,所述侧挡板远离底座一侧连接有横板,所述横板远离侧挡板一侧活动连接有滴电机固定架,所述第一电机固定架靠近横板的一侧固定连接有滑块,所述横板靠近第一电机固定架一侧且滑块位置处对应开设有第二滑槽,所述第一电机固定架内固定连接有第一电机,所述第一电机输出轴上固定连接有第一齿轮,所述横板上且第一电机输出轴位置处对应开设有通槽,所述通槽内且第一齿轮位置处开设有第一齿槽,所述第一电机输出轴靠近底座的一端且位于通槽外活动连接有轴承,所述轴承上固定连接有固定块,所述固定块远离轴承一侧固定连接有激光切割器,所述横板靠近底座一侧且位于通槽两侧开设有圆槽,所述横板两侧且圆槽位置处对应固定连接有第二电机固定架,所述第二电机固定架内固定连接有第二电机且第二电机输出轴贯穿横板并延伸至圆槽内,所述第二电机输出轴上且位于圆槽内固定连接有第二齿轮,所述圆槽内且位于第二齿轮下方固定连接有横杆,所述横杆上转动连接有第三齿轮,所述第二齿轮与第三齿轮啮合,所述侧挡板靠近横板一侧且第三齿轮位置处对应开设有第二方槽,所述第二方槽内开设有第二齿槽。

优选的,所述第一电机和第二电机的型号均为RK-510。

优选的,所述激光切割器的型号为GJT0168。

优选的,所述第一凹槽内固定连接有一层具有一定粘性的蓝膜。

优选的,所述第一滑槽与滑板和第一方槽与隔板以及第一方槽与固定杆的连接方式均为滑动连接。

优选的,所述第一齿轮与第一齿槽和第二齿轮与第三齿轮以及第三齿轮与第二齿槽均啮合。

优选的,所述侧挡板的数量为二个且二个侧挡板以底座的中心线成轴对称分布。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

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