[实用新型]一种微流道电子烟雾化芯片有效
| 申请号： | 201920383899.8 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN209769007U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 韩熠;李寿波;陈李;李廷华;徐溢;朱东来;巩效伟;赵伟;张霞;吴俊;陈永宽 | 申请（专利权）人： | 云南中烟工业有限责任公司 |
| 主分类号： | A24F47/00 | 分类号： | A24F47/00 |
| 代理公司： | 11590 北京市领专知识产权代理有限公司 | 代理人： | 任文娟 |
| 地址： | 650231 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅衬底 玻璃罩 芯片 本实用新型 微流道 烟雾化 微孔 微柱 雾化 键合工艺 制造成本 出口端 入口端 贯穿 基材 流道 烟液 | ||
【权利要求书】：
1.一种微流道电子烟雾化芯片，其特征在于，包括如下部件：
硅衬底(1)，硅衬底(1)上设有微柱(2)阵列或微孔(3)阵列以及入口端(10)和出口端(11)，微柱(2)阵列限定出若干个微流道(9)或硅衬底(1)上设有贯穿微孔(3)的烟液流道；
玻璃罩(4)，其上设有贯穿玻璃罩(4)的气孔(5)；
玻璃罩(4)与硅衬底(1)利用键合工艺固定连接。
2.根据权利要求1所述的微流道电子烟雾化芯片，其特征在于，微柱(2)或微孔(3)的直径为20微米至300微米。
3.根据权利要求1所述的微流道电子烟雾化芯片，其特征在于，硅衬底(1)为p型或n型硅片。
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