[实用新型]一种氦气压缩气路系统

说明书

本实用新型公开了一种氦气压缩气路系统，属于氦气压缩技术领域，包括气路回路；所述气路回路的涡旋式压缩机的进口端管路上设有用于连接冷却回路的管路以及回油回路的管路，该三根管路合并为一根管路，并设于涡旋式压缩机的顶部非中心位置；所述涡旋式压缩机底部设有冷却回路的涡旋式压缩机的出口端管路；所述油气分离器顶部设有气路回路的油气分离器的进口端管路和回油回路的油气分离器的出口端管路；所述回油回路的油气分离器的出口端管路伸入至油气分离器底部。本实用新型的一种氦气压缩气路系统，结构简单、制造成本低、安全可靠。

技术领域

本实用新型属于氦气压缩技术领域，具体地说涉及一种氦气压缩气路系统。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。

作为低温泵的重要组成部分的氦气压缩设备，为制冷机提供纯净的氦气。如何使该压缩气路系统结构简单、制造成本低、安全可靠，仍亟待解决。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述不足之处提供一种氦气压缩气路系统，拟解决如何使压缩气路系统结构简单、制造成本低、安全可靠的问题。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种氦气压缩气路系统，包括气路回路；所述气路回路至少由涡旋式压缩机1、换热器 2、油气分离器3、吸附器4、制冷机5、平衡罐6依次通过管路串联闭环而成；所述气路回路的涡旋式压缩机1的进口端管路上设有用于连接冷却回路的管路以及回油回路的管路，该三根管路合并为一根管路，并设于涡旋式压缩机1的顶部非中心位置；所述涡旋式压缩机1 底部设有冷却回路的涡旋式压缩机1的出口端管路；所述油气分离器3顶部设有气路回路的油气分离器3的进口端管路和回油回路的油气分离器3的出口端管路；所述回油回路的油气分离器3的出口端管路伸入至油气分离器3底部。