[实用新型]一种红外玻璃缺陷显微检测系统有效
申请号: | 201920378843.3 | 申请日: | 2019-03-25 |
公开(公告)号: | CN209821085U | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 郑轶;冯龄 | 申请(专利权)人: | 成都诺为光科科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 51214 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 | 代理人: | 韩雪 |
地址: | 610041 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半透半反射镜片 变倍显微镜 红外玻璃 样品放置 红外相机 显微检测 本实用新型 长工作距离 照明光源 检测端 物镜 光线通过 深度测量 微观缺陷 系统结构 传递 可视化 缺陷点 反射 成像 体内 检测 观察 | ||
1.一种红外玻璃缺陷显微检测系统,其特征在于,包括样品放置端(1)和检测端(2),样品放置端(1)用于样品的放置,以便样品的检测;检测端(2)包括照明光源(3)、半透半反射镜片(4)、红外相机(5)、变倍显微镜(6)和LWD长工作距离物镜(7),红外相机(5)与变倍显微镜(6)连接,变倍显微镜(6)与半透半反射镜片(4)连接,半透半反射镜片(4)与LWD长工作距离物镜(7)连接,照明光源(3)光线通过半透半反射镜片(4)传递至样品放置端(1),样品放置端(1)反射出的光线经半透半反射镜片(4)、变倍显微镜(6)传递至红外相机(5)成像。
2.如权利要求1所述的红外玻璃缺陷显微检测系统,其特征在于,所述半透半反射镜片(4)采用50%光线透射,50%光线反射设置。
3.如权利要求2所述的红外玻璃缺陷显微检测系统,其特征在于,所述样品放置端(1)包括样品夹持装置(8)和位移台,位移台带动样品夹持装置(8)移动。
4.如权利要求3所述的红外玻璃缺陷显微检测系统,其特征在于,所述位移台为第一电动位移台(9),第一电动位移台(9)可支持样品夹持装置(8)在竖直方向和水平方向移动。
5.如权利要求4所述的红外玻璃缺陷显微检测系统,其特征在于,所述第一电动位移台(9)相对于检测端(2),仅可上下和左右移动,检测端(2)还包括有用于支持检测端(2)移动的第二电动位移台(10),第二电动位移台(10)相对于样品放置端(1)仅可前后移动。
6.如权利要求2或5所述的红外玻璃缺陷显微检测系统,其特征在于,所述红外玻璃缺陷显微检测系统还包括自动识别控制系统,自动识别控制系统与样品放置端(1)信号连接,以实现红外玻璃缺陷显微检测系统对红外玻璃缺陷点进行自动识别。
7.如权利要求6所述的红外玻璃缺陷显微检测系统,其特征在于,所述自动识别控制系统还与检测端(2)信号连接,以实现红外玻璃缺陷显微检测系统对红外玻璃缺陷点的深度进行测量。
8.如权利要求1所述的红外玻璃缺陷显微检测系统,其特征在于,所述照明光源(3)与半透半反射镜片(4)通过光纤(11)连接。
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