[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201920376263.0 | 申请日： | 2019-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN209798093U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 董旺鹏 | 申请（专利权）人： | 厦门正顺兴钛金科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空室 锁定组件 抽气口 门体 真空磁控溅射镀膜机 磁控溅射装置 按压 本实用新型 保护设备 抽气系统 室外设置 转动连接 转动设置 组件包括 抵紧 镀膜 连通 取出 室外 室内 推开 延伸 | ||
1.一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空室(1)，所述真空室(1)上设置有门体(10)，所述真空室(1)上开设有抽气口(2)，所述真空室(1)外设置有与所述抽气口(2)连通的抽气系统(3)，其特征在于：所述门体(10)转动连接在所述真空室(1)上，所述真空室(1)上设置有助开组件(15)，所述助开组件(15)包括助开杆，所述助开杆转动设置在所述真空室(1)外，且所述助开杆的一端抵紧在所述门体(10)上，另一端朝向远离所述真空室(1)的一侧延伸。
2.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述助开杆靠近所述真空室(1)的一端转动设置有滚轮(12)，所述门体(10)上开设有供所述滚轮(12)滑动的滑动槽(13)。
3.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述助开杆上套设有连接杆(14)，所述助开杆上设置有将所述连接杆(14)固定在所述助开杆上的定位件(8)。
4.根据权利要求3所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述定位件(8)包括设置于所述助开杆上的弹簧跳豆(81)、以及开设于所述连接杆(14)上且供所述弹簧跳豆(81)穿过的定位孔(82)。
5.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述真空室(1)上还设置有锁定组件(9)，所述锁定组件(9)包括固定设置于所述真空室(1)上的固定片(91)、固定设置于所述门体(10)上的定位片(92)、以及锁定螺栓(93)，所述锁定螺栓(93)的头部抵紧在所述定位片(92)远离所述固定片(91)的一侧，所述锁定螺栓(93)穿过所述定位片(92)且与所述固定片(91)螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述真空室(1)与所述门体(10)之间设置有橡胶圈(16)，所述橡胶圈(16)与所述真空室(1)固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述真空室(1)上设置有真空计(17)。
8.根据权利要求7所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述真空室(1)上设置有磁控溅射装置(6)；所述真空室(1)的外侧壁上设置有控制器(18)，所述控制器(18)与所述真空计(17)电连接，所述控制器(18)与所述磁控溅射装置(6)电连接。
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