[实用新型]真空磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201920376172.7 | 申请日： | 2019-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN209798092U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 董旺鹏 | 申请（专利权）人： | 厦门正顺兴钛金科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空室 驱动件 门体 本实用新型 抽气口 推动板 真空磁控溅射镀膜机 高真空阀门 气缸活塞杆 保护设备 抽气系统 固定设置 控制气缸 室外设置 油扩散泵 转动设置 侧壁 抵紧 镀膜 气缸 连通 取出 室内 驱动 | ||
1.一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空室(1)，所述真空室(1)上设置有门体(10)，所述真空室(1)上开设有抽气口(2)，所述真空室(1)外设置有与所述抽气口(2)连通的抽气系统(3)，其特征在于：所述门体(10)转动设置在所述真空室(1)上，所述真空室(1)上设置有驱动所述门体(10)从所述真空室(1)上打开的驱动件(8)，所述驱动件(8)包括固定设置在所述真空室(1)上的气缸(81)、以及设置于所述气缸(81)活塞杆上的推动板(82)，所述推动板(82)与所述门体(10)朝向所述真空室(1)的侧壁抵紧。
2.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述推动板(82)与所述气缸(81)的活塞杆转动连接。
3.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述真空室(1)上开设有出件口(6)，所述门体(10)设置在所述出件口(6)处，所述门体(10)上设置有嵌设在所述出件口(6)内的内盖体(11)，所述内盖体(11)和所述出件口(6)的盖合处设有用于密封所述内盖体(11)与所述出件口(6)之间空隙的密封组件(7)，所述密封组件(7)包括固定设置于所述内盖体(11)上的环形凸块(71)、以及开设于所述出件口(6)上且与所述环形凸块(71)配合的环形凹槽(72)。
4.根据权利要求3所述的真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：环形凸块(71)靠近所述门体(10)的侧面与所述内盖体(11)的外侧面呈钝角设置，所述环形凸块(71)远离所述门体(10)的侧面与所述内盖体(11)的侧面呈钝角设置。
5.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述真空室(1)与所述门体(10)之间设置有橡胶圈(12)，所述橡胶圈(12)与所述真空室(1)固定连接。
6.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述真空室(1)上设置有真空计(13)。
7.根据权利要求6所述的真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述抽气系统(3)包括油扩散泵(5)，所述真空室(1)外设置有控制器(14)，所述控制器(14)与所述真空计(13)电连接，所述控制器(14)与所述油扩散泵(5)电连接。
8.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述门体(10)上设置有观察窗(9)。
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