[实用新型]一种纳米级的气流传感器

说明书

本实用新型涉及一种纳米级的气流传感器，包括：4×N个气流传感单元(6)，其中，N为大于或等于1的整数；所述气流传感单元(6)包括：支撑衬底(2)；承载部(3)，形成在所述支撑衬底(2)上；压阻薄膜(5)，形成在所述承载部(3)上；电极(4)，形成在所述压阻薄膜(5)上；所述承载部(3)、压阻薄膜(5)和电极(4)一起形成悬空的部分；所述悬空的部分具有自由的三边以及一个折边；所述电极(4)垂直于所述悬空的部分的折边平行地设置；所述气流传感单元(6)以等分圆周的方式对称分布。本实用新型提供的纳米级的气流传感器的高灵敏度；每个纳米级的气流传感单元曲向不同，感测气流灵敏度不同，能分辨气流方向。

技术领域

本实用新型涉及气流传感器领域，具体涉及一种纳米级的气流传感器。

背景技术

准确风速风向信息能避免人类的生命安全和财产安全遭受损失，能更好的为气象、海洋、环境、机场、港口、工农业及交通等领域提供安全保障。

当今社会上的风速风向均采用传统方法，风向采用风向标观察。风向标是测定风来向的设备。风向标基本上是一个不对称形状的物体，重心点固定於垂直轴上。当风吹过，对空气流动产生较大阻力的一端便会顺风转动，显示风向引。缺点是人类观察风向信息，无法自动传输风向信息。风速采用风车转动原理。测量风在1秒内移动的速度很难，但测量它在10 分钟内的移动速度相对简单。气象部门经常用风杯转动来测量风速。风杯转动一圈的距离是固定的，10分钟内转动的圈数可以通过中轴下部的计数器来记录，距离除以时间，就得出了风在每秒内移动的速度。缺点是只能算出平均风速，无法测量瞬时风速。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有高灵敏度的纳米级的气流传感器。

第一方面，本实用新型提供一种纳米级的气流传感器，包括：4×N 个气流传感单元(6)，其中，N为大于或等于1的整数；

所述气流传感单元(6)包括：

支撑衬底(2)；

承载部(3)，形成在所述支撑衬底(2)上；

压阻薄膜(5)，形成在所述承载部(3)上；

电极(4)，形成在所述压阻薄膜(5)上；

所述承载部(3)、压阻薄膜(5)和电极(4)一起形成悬空的部分；所述悬空的部分具有自由的三边以及一个折边；

所述电极(4)垂直于所述悬空的部分的折边平行地设置；

所述气流传感单元(6)以等分圆周的方式对称分布。

优选地，在本实用新型所述的纳米级的气流传感器中，所述支撑衬底为双面抛光的硅片和/或单面抛光硅片。

优选地，在本实用新型所述的纳米级的气流传感器中，所述硅片的厚度大于300um，晶向为[100]，电阻率小于100Ω·cm。

优选地，在本实用新型所述的纳米级的气流传感器中，所述承载部由氮化硅薄膜和/或氧化硅薄膜构成。

优选地，在本实用新型所述的纳米级的气流传感器中，所述压阻薄膜可以由具有压阻效应的薄膜构成，例如，石墨烯薄膜。

优选地，在本实用新型所述的纳米级的气流传感器中，所述承载部的应力小于等于50MPa。

优选地，在本实用新型所述的纳米级的气流传感器中，所述N个气流传感单元结构上相互分离并且具有不耦合信号。

优选地，在本实用新型所述的纳米级的气流传感器中，所述悬空的部分的形状为矩形。