[实用新型]一种多级罗茨真空泵

说明书

本实用新型涉及一种多级罗茨真空泵，包括泵体以及泵体的内腔；所述内腔被隔板分隔成若干隔腔，相邻两所述隔腔通过气道连通；所述内腔两端的隔腔分别为首端隔腔和尾端隔腔；自所述首端隔腔至所述尾端隔腔，若干所述隔腔体积依次减小；所述首端隔腔设有进气口，所述尾端隔腔设有出气口；所述内腔内设有传动轴，所述传动轴上设有风叶，每个所述隔腔中均设有风叶。有益效果是：使用时，提高了极限真空，直接将被抽气体排入大气环境；不易发热，更好的冷却；无需用油来密封泵，解决了返油的风险；结构更加合理，便于生产加工。

技术领域

本实用新型属于真空技术领域，尤其涉及一种真空泵。

背景技术

罗茨真空泵由罗茨鼓风机演变而来，包括高真空多级罗茨泵、中真空罗茨增压泵和直排大气的干式罗茨泵，广泛用于化工、造纸、冶金、薄膜制备、食品等行业，也是IC装备行业中常用的一种真空泵。国内罗茨真空泵的研究和制造较早，但适合于IC装备行业严格要求的罗茨干泵并不多见，致使该设备长期依赖进口。

真空泵广泛应用于电子、化工、纺织等行业，根据使用需求的不同，采用不同的真空泵或者多种真空泵的组合来获得真空，但是单机罗茨泵不能单独运行，需要增加前级泵，一般为机械泵，主流的机械真空泵，靠容积变化获得真空的泵一般都是油密封泵，对于被抽真空系统而言，如果用油密封泵会有返油的风险。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种多级罗茨真空泵，包括泵体以及泵体的内腔；

所述内腔被隔板分隔成若干隔腔，相邻两所述隔腔通过气道连通；

所述内腔两端的隔腔分别为首端隔腔和尾端隔腔；自所述首端隔腔至所述尾端隔腔，若干所述隔腔体积依次减小；

所述首端隔腔设有进气口，所述尾端隔腔设有出气口；

所述内腔内设有传动轴，所述传动轴上设有风叶，每个所述隔腔中均设有风叶。

优选的，所述传动轴穿设于所述内腔；所述传动轴数量为2，分别为主动轴和从动轴，所述主动轴和所述从动轴通过同步齿轮传动。

优选的，每个隔腔内均设有两个风叶，且分别设置在主动轴和从动轴。

优选的，同一隔腔内的两个风叶相互啮合；所述主动轴和从动轴相互平行。

优选的，所述泵体一端设有传动元件，所述同步齿轮位于所述传动元件中；所述主动轴和从动轴一端伸出所述内腔后到连接于所述同步齿轮。

优选的，所述主动轴远离所述同步齿轮的一端伸出所述内腔后连接于驱动组件。

优选的，所述传动轴从所述内腔的端壁伸出；所述传动轴与所述内腔的端壁之间设有密封组件。

优选的，所述泵体还设有冷却通道；所述冷却通道位于所述内腔外侧。

优选的，所述气道位于所述内腔外侧，所述气道能与所述冷却通道进行热交换；所述气道与隔腔连通设有回气通道。

优选的，所述回气通道与所述冷却通道连接部为第一连接口，所述回气通道与所述内腔连接部为第二连接口；所述第一连接口位于所述第二连接口和所述尾端隔腔之间。

本实用新型的有益效果是：

1.使用时，提高了极限真空，直接将被抽气体排入大气环境；

2.不易发热，更好的冷却；

3.无需用油来密封泵，解决了返油的风险；

4.结构更加合理，便于生产加工。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；