[实用新型]一种旋转导气盘

说明书

本实用新型提供的一种旋转导气盘，包括进气盘、以及与所述进气盘同轴连接的出气盘，所述进气盘边缘设有n个垂直于轴向的进气孔，n为大于等于6的整数，所述进气孔末端均连接有沿轴向的第一条形孔，每两个相邻所述第一条形孔之间的间隔长度均小于所述第一条形孔的长度，所述出气盘靠向所述进气盘一端连接有凸环，所述凸环上设有n个沿轴向且与所述第一条形孔结构相同的第二条形孔，所述出气盘上设有n个沿轴向且连接所述第二条形孔的出气孔。本实用新型的旋转导气盘，能够将其安装在凸轮分割机的输出轴上，在分割器旋转的情况下能稳定有序的给工作件通断真空及压缩气，耐磨性好，气密性好。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种旋转导气盘。

背景技术

半导体制作过程是典型的复杂多工序制作过程，其主要步骤包括：晶圆制备、芯片测试、芯片封装和产品测试。其中，晶圆制作的主要工艺有氧化、淀积、光刻、刻蚀、扩散和离子注入等，这些工艺流程比较复杂，需要使用多种加工设备，例如光刻机、等离子刻蚀机、扩散反应炉、离子注入机等。为了保证产品的最终良品率，每道工序都需要严格控制操作环境。

为了控制加工过程中的真空度，一般需要增加一个导气装置，将导气装置安装在凸轮分割机的输出轴上，在凸轮分割器旋转的情况下给工作件通断真空及压缩气。现有技术的导气结构，是两块平板状的圆板结构，接触面积大，容易磨损，且一旦安装在旋转的转轴上，随着转轴的转动，进气盘和出气盘容易发生漏气现象，气密性较差。

实用新型内容

针对以上问题，本实用新型提供一种旋转导气盘，能够将其安装在凸轮分割机的输出轴上，在分割器旋转的情况下能稳定有序的给工作件通断真空及压缩气，耐磨性好，气密性好。

为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案来解决：

一种旋转导气盘，包括进气盘、以及与所述进气盘同轴连接的出气盘，所述进气盘边缘设有n个垂直于轴向的进气孔，n为大于等于6的整数，所述进气孔末端均连接有沿轴向的第一条形孔，每两个相邻所述第一条形孔之间的间隔长度均小于所述第一条形孔的长度，所述出气盘靠向所述进气盘一端连接有凸环，所述凸环上设有n个沿轴向且与所述第一条形孔结构相同的第二条形孔，所述出气盘上设有n个沿轴向且连接所述第二条形孔的出气孔。

具体的，所述进气盘中部设有第一轴孔，所述出气盘中部设有第二轴孔，所述第一轴孔的内径大于所述第二轴孔的内径。

具体的，所述进气盘远离所述出气盘一端还设有限位槽。

具体的，n为8，所述进气孔、第一条形孔、第二条形孔、出气孔的数量均为8个，所述进气孔等间距地分布在所述进气盘边缘。

具体的，所述凸环靠向所述进气盘一端面涂覆有耐磨涂层。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型提供的旋转导气盘，将出气盘固定在凸轮分割机的输出轴上，并将进气盘固定住，使其不随凸轮分割机输出轴的转动而转动，进气盘边缘的进气孔连接进气管，气体依次通过第一条形孔、第二条形孔、出气孔，在分割器旋转的情况下能稳定有序的给工作件通断气体，气密性好，且在出气盘的一端面增加了一个凸环，第二条形孔安装在凸环上，减少了接触面积，降低磨损。

附图说明

图1为本实用新型的一种旋转导气盘的立体结构图。

图2为本实用新型的一种旋转导气盘的右视图。

图3为本实用新型的一种旋转导气盘的爆炸图一。

图4为本实用新型的一种旋转导气盘的爆炸图二。

图5为本实用新型中进气盘的结构示意图。

图6为本实用新型中出气盘的结构示意图。