[实用新型]一种增压雾化喷淋装置及其抛光装置

说明书

本实用新型涉及精密加工装置的技术领域，更具体地，涉及一种增压雾化喷淋装置及其抛光装置，包括用于供应有压气体和浆液的气液供应组件、用于实现浆液增压和浆液雾化的浆液雾化组件以及喷洒角度可调的浆液喷洒组件，所述气液供应组件连通于所述浆液雾化组件的一端，所述浆液喷洒组件设置于浆液雾化组件的另一端。本实用新型的增压雾化喷淋装置，实现浆液流动的高速高压，解决了浆液的不均匀性、分散性差、浪费浆液等问题，使得浆液成分分散均匀，节约加工成本；本实用新型的抛光装置和抛光方法，使抛光浆液均匀喷淋在工件表面及抛光盘面上，从而实现对工件的超精密加工，且可通过调节蠕动泵转速和气源压力以满足不同抛光工件加工所需的参数。

技术领域

本实用新型涉及精密加工装置的技术领域，更具体地，涉及一种增压雾化喷淋装置及其抛光装置。

背景技术

透镜、反射镜等光学元件作为光学器件的核心元件之一，要达到良好的光学性能，其表面精度需要达到超光滑程度(粗糙度Ra达到1nm以下)，面形精度也有较高的要求(形状精度达到0.5微米以下)。在LED领域，单晶硅(Si)、单晶锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、单晶碳化硅(SiC)和单晶蓝宝石(Al2O3)等作为半导体衬底材料，同样要求具有超平坦和超光滑的表面(粗糙度Ra达到0.3nm以下)才能满足外延膜生长的要求，并且要求无缺陷、无损伤。在加工过程中抛光浆液的添加方法是影响工件表面粗糙度、表面质量的重要因素之一。

目前，抛光浆液添加方式是将经前期搅拌、振动处理的抛光浆液滴加在抛光盘上，然后使抛光浆液与工件之间相互接触，通过机床转动使抛光浆液与工件之间产生相对运动，利用抛光浆液中磨料与工件之间产生的相对摩擦力，实现工件表面的微切削去除加工。由于抛光浆液中磨料与磁性颗粒的密度差较大，磨料容易沉淀、分散性较差，而且抛光浆液是直接滴加在抛光盘上，抛光浆液用量不易控制，容易造成抛光浆液的浪费，增大加工成本；而且，随着抛光浆液浓度的增大，容易出现管路堵塞问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种增压雾化喷淋装置及其抛光装置，对抛光浆液进行增压雾化，解决抛光浆液的不稳定、分散性差、易堵塞管道的问题，且能在加工过程中使得抛光浆液均匀喷淋在工件表面和抛光盘面上，实现超精密加工。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

提供一种增压雾化喷淋装置，包括用于供应有压气体和浆液的气液供应组件、用于实现浆液增压和浆液雾化的浆液雾化组件以及喷洒角度可调的浆液喷洒组件，所述气液供应组件连通于所述浆液雾化组件的一端，所述浆液喷洒组件设置于浆液雾化组件的另一端。

本实用新型的增压雾化喷淋装置，气液供应组件为浆液雾化组件提供浆液和有压气体，浆液在流入浆液雾化组件沿途压力增加，流速增快，浆液成分分散均匀，分散均匀的浆液与有压气体对撞实现雾化，雾化的浆液进入浆液喷洒组件进行喷洒。本实用新型实现浆液流动的高速高压，使得浆液成分分散均匀，解决了浆液的不均匀性、分散性差、浪费抛光浆液、易阻塞管道等问题，能节约加工成本，提高工件表面质量，且不易出现道路堵塞问题。

进一步地，所述气液供应组件包括伸入浆液缸中的浆液管以及连接于气源的气管，所述浆液管安装于蠕动泵中且所述浆液管的一端安装于雾化组件的上端，所述气管通过气管支架安装于雾化组件的上端。浆液池中的浆液在蠕动泵的作用下流入浆液管进入浆液雾化组件，且蠕动泵的转速可根据工件加工所需参数进行调整；浆液池中除盛装浆液外，还可盛装去离子水、清洗液体等液体实现雾化喷淋装置的清洗；有压气体从气源经气管和气管支架进入浆液雾化组件，有压气体的压力可根据工件加工所需的参数进行调整。

进一步地，所述浆液雾化组件包括壳体、设于壳体上端的浆液管件以及设于壳体内部的雾化器件，所述雾化器件设有通过空气流道与气管连通且通过浆液流道与浆液管连通的雾化腔，所述雾化腔的下端连通设有雾化流道。在雾化腔内，由浆液流道喷出的浆液被由空气流道流入的高压气体对撞，确保雾化效果，雾化后的浆液由雾化流道进入浆液喷洒组件。