[实用新型]一种蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置

权利要求书

1.一种蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置，其特征在于，包括：

提升机构；

底部承载机构，所述底部承载机构的两侧均通过紧固螺栓设置于所述提升机构的两侧；

两个承重块，两个所述承重块相对的一侧分别设置于所述提升机构的两侧，两个所述承重块的底部分别与所述底部承载机构的顶部的两侧接触；

两个限位块，两个所述限位块的底部分别设置于所述底部承载机构的顶部的两侧，两个所述限位块相对的一侧分别与两个所述承重块相对的一侧接触。

2.根据权利要求1所述的蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置，其特征在于，所述提升机构包括支撑板、顶板、转动杆、连接块、两个固定块、第一转动轴承、传动齿轮和第二转动轴承，所述支撑板的两侧均开设有与所述紧固螺栓配合使用的第一螺纹孔，所述顶板的底部固定于所述支撑板的顶部，所述转动杆的表面贯穿于所述顶板的内部。

3.根据权利要求2所述的蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置，其特征在于，两个所述固定块的背面分别固定于所述支撑板的表面的两侧，所述连接块的两侧分别固定于两个所述固定块相对的一侧，所述连接块的内部通过第一转动轴承与所述转动杆的表面固定连接。

4.根据权利要求2所述的蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置，其特征在于，所述传动齿轮的顶部固定于所述转动杆的底端，所述转动第二转动轴承的表面固定于所述顶板的内部，所述第二转动轴承的内部与所述转动杆的表面固定连接。

5.根据权利要求1所述的蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置，其特征在于，所述底部承载机构包括承载座、两个固定件、通孔和凸起，所述承载座的两侧均开设有与所述紧固螺栓配合使用的第二螺纹孔，两个所述固定件相对的一侧分别设置于所述承载座的表面和背面。

6.根据权利要求5所述的蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置，其特征在于，所述通孔开设于所述承载座的表面，所述凸起的底部设置于所述承载座的顶部。

7.根据权利要求1所述的蚀刻槽体中的新型晶舟承载装置，其特征在于，所述紧固螺栓的数量为八个。