[实用新型]一种新型光刻机文字图像分离显示装置

说明书

本实用新型公开一种新型光刻机文字图像分离显示装置，包括控制光刻机工作的主机，主机内部包含有输出图像画面的CCU及输出文字内容的VT284，CCU通过显示器接口连接图像显示器，VT284通过显示器接口连接文字显示器。设计新颖，分设两个显示器，分别显示文字信息，图像信息，摈弃video converter及复合管理软件，不但便于人机清晰对话，且同时刻文字信息无缺漏，实用性能优，是一种很好的创新方案，很有市场推广前景。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种新型光刻机文字图像分离显示装置。

背景技术

随着半导体、LED行业的飞速发展，晶圆种类也越来越多，对测试要求也越来越高，对于晶圆的定位精度要求也越来越高。其中，在芯片的制造过程中，需要使用到光刻机。

在现有技术中，如图1所示，Nikon光刻机MCSⅡ主控系统原人机界面为：文字，图像共用显示器，需要使用video converter和复合管理软件将文字和图像复合进行实现，文字和图像共画面显示存在成本高，技术难，图像显示时占用文字显示空间，会造成文字显示缺失，使用不方便，存在着欠缺，不能满足社会发展的需求。

综上所述，针对现有技术的缺陷，特别需要一种新型光刻机文字图像分离显示装置，以解决现有技术的不足。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型光刻机文字图像分离显示装置，设计新颖，不影响光刻机的正常工作，分设两个显示器，分别显示文字信息及图像信息，减少图像画面的切换操作，实用性优，已解决现有技术的缺陷。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种新型光刻机文字图像分离显示装置，包括控制光刻机工作的主机，主机内部包含有输出图像画面的CCU及输出文字内容的VT284，CCU通过显示器接口连接图像显示器，VT284通过显示器接口连接文字显示器。

进一步，所述显示器接口采用VGA或DVI或HDMI。

进一步，所述图像显示器和文字显示器的规格相同。

本实用新型的有益效果是：设计新颖，结构简单，分设两个显示器，分别显示文字信息，图像信息，摈弃video converter及复合管理软件，不但便于人机清晰对话，且同时刻文字信息无缺漏，操作步骤简化，并且成本比使用video converter要低，实用性能优，是一种很好的创新方案，很有市场推广前景。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式来详细说明本实用新型：

图1为现有技术结构框图；

图2为本实用新型结构框图；

图中100-主机；110-图像显示器；120-文字显示器；130-图像显示器；140-文字显示器。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

如图2所示，一种新型光刻机文字图像分离显示装置，包括控制光刻机工作的主机100，主机100内部包含有输出图像画面的CCU及输出文字内容的VT284，CCU通过显示器接口连接图像显示器130，VT284通过显示器接口连接文字显示器140，CCU即图像显示器110，VT284即文字显示器120。

显示器接口采用VGA或DVI或HDMI，

另外，图像显示器和文字显示器的规格相同，保持光刻机显示器的外型保持精美，也可以根据不同情况选用相适应的显示器。