[实用新型]部件松脱侦测装置

权利要求书

1.一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述部件松脱侦测装置设置于具有共同的贴合面的两个相互贴合安装的部件中的任意一个部件上，所述部件松脱侦测装置包括：

设有两个开口端的刚性的管路，两个所述开口端分别为大气压接收端和贴合面侦测端，所述大气压接收端的海拔高度高于所述贴合面侦测端的海拔高度；

用于覆盖并密封所述贴合面侦测端的柔性的贴合面软片，所述贴合面侦测端位于所述贴合面上，所述贴合面软片贴合于所述贴合面；

容纳于所述管路内的液体，所述液体至少浸没所述贴合面侦测端，所述液体的液面位置位于所述管路内靠近所述大气压接收端的一侧，且所述液体的液面位置的海拔高度高于所述贴合面侦测端的海拔高度；

用于实时侦测并显示所述液体的液面位置变化状态的液位侦测模块。

2.根据权利要求1所述的一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述部件包括设置于化学研磨机台中相互贴合安装的抛光垫修整器和抛光垫修整盘，所述部件松脱侦测装置设置于所述抛光垫修整器上。

3.根据权利要求1所述的一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述贴合面软片为双层结构，包括覆盖并密封所述贴合面侦测端的密封软片和覆盖于所述密封软片外侧的保护软片。

4.根据权利要求1所述的一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述部件松脱侦测装置还包括覆盖并密封大气压接收端的柔性的防挥发软片。

5.根据权利要求4所述的一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述部件松脱侦测装置还包括包覆所述防挥发软片的保护壳，所述保护壳设有连通所述保护壳的内部和外部的气孔。

6.根据权利要求1所述的一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述管路在所述贴合面侦测端的管径大于在所述液体的液面位置处的管径。

7.根据权利要求6所述的一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述管路由主管路和毛细管路两段连接构成，所述主管路位于所述部件内，所述贴合面侦测端位于所述主管路远离所述毛细管路的一端，所述大气压接收端位于所述毛细管路远离所述主管路的一端，所述液体的液面位置位于所述毛细管路内，所述毛细管路的管径小于所述主管路的管径。

8.根据权利要求7所述的一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述毛细管路包括透明毛细管路。

9.根据权利要求1所述的一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述液位侦测模块包括：用于量测所述液体的液面位置的液位量测单元；

用于获取并反馈所述液体的液面位置的液位反馈单元，连接所述液位量测单元；

用于将所述液体的液面位置与液面位置设定范围进行比对，并在所述液体的液面位置超出所述液面位置设定范围时发出报警的比对报警单元，连接所述液位反馈单元。

10.根据权利要求9所述的一种部件松脱侦测装置，其特征在于，所述液位量测单元包括磁浮式液位计、压力式液位计、声学液位计或光学液位计。