[实用新型]一种大长径比旋压钼坩埚有效
申请号: | 201920348761.4 | 申请日: | 2019-03-19 |
公开(公告)号: | CN209854279U | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 吴朝圣;钟铭;杨义兵;吴孟海;郭雪琪 | 申请(专利权)人: | 安泰天龙钨钼科技有限公司;安泰天龙(天津)钨钼科技有限公司;安泰科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B11/00 |
代理公司: | 11387 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 刘春成;荣红颖 |
地址: | 101117 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 钼坩埚 钼坩埚本体 坩埚盖 本实用新型 蓝宝石 大长径比 外沿 旋压 坩埚 蓝宝石单晶体 产品合格率 蓝宝石单晶 侧壁圆弧 过渡连接 实时测量 使用寿命 制作过程 测温孔 长径比 开口处 圆碟状 籽晶夹 侧壁 外伸 圆板 制备 籽晶 口径 生产 生长 | ||
本实用新型提供一种大长径比旋压钼坩埚,钼坩埚包括:钼坩埚本体和钼坩埚盖;钼坩埚本体包括钼坩埚底和钼坩埚侧壁,钼坩埚底为圆板,钼坩埚底与钼坩埚侧壁圆弧过渡连接;钼坩埚本体的开口处设置有外伸的坩埚外沿;坩埚盖盖设在坩埚外沿上,坩埚盖为圆碟状,坩埚盖上设置有圆形的籽晶夹孔,便于在使用过程中籽晶的放置。本实用新型提供的大长径比钼坩埚口径小,长径比达到4‑5,结构合理,对细长蓝宝石单晶体的生产具有很好效果,设置的测温孔,便于在蓝宝石的制作过程中实时测量钼坩埚内的温度,便于及时调整生长温度从而使蓝宝石的产品合格率大增。整个钼坩埚本体采用旋压制备,其品质高。使用寿命长。对细长蓝宝石单晶的生产具有重要的意义。
技术领域
本实用新型属于钼坩埚技术领域,具体涉及一种大长径比旋压钼坩埚。
背景技术
蓝宝石晶体(α-Al2O3)是一种耐高温、耐磨损、抗腐蚀和透光波段宽的优质光功能材料,还是使用最广泛的氧化物衬底(主要用作半导体衬底和大规模集成电路衬底)材料之一,可用于微电子-光电子技术、军事、航空航天、通信、医学等领域,有着广阔的应用前景。
目前,有多种方法可以制作蓝宝石单晶,如泡生法、柴氏拉晶法、导模法、热交换法、温度梯度法、坩埚下降法、冷心放肩微量提拉法等方法。这些方法中,热交换法生长蓝宝石单晶具有方法简单,产品光学透过率高,硬度高和纯度高等优点,随着科技的发展,对于细长蓝宝石单晶的需求越来越大,热交换法生长蓝宝石单晶需要用到高品质的钼坩埚,现有钼坩埚的长径比一般为1-2,其生产出来的蓝宝石长度远远满足不了使用需求。
因此,针对上述现有技术不足,急需提供一种可生产细长蓝宝石单晶的大长径比旋压钼坩埚。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种大长径比旋压钼坩埚,以至少解决目前钼坩埚长径比小,不能生产细长蓝宝石单晶等问题。
为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种大长径比旋压钼坩埚,所述钼坩埚包括:
钼坩埚本体,所述钼坩埚本体包括钼坩埚底和钼坩埚侧壁,所述钼坩埚底为圆板,所述钼坩埚底与所述钼坩埚侧壁圆弧过渡连接;所述钼坩埚本体的开口处设置有外伸的坩埚外沿;
钼坩埚盖,所述坩埚盖盖设在所述坩埚外沿上,所述坩埚盖为圆碟状,所述坩埚盖上设置有圆形的籽晶夹孔。
如上所述的大长径比旋压钼坩埚,优选,所述钼坩埚盖的边沿卡设在所述坩埚外沿的外侧。
如上所述的大长径比旋压钼坩埚,优选,所述钼坩埚侧壁的厚度小于所述钼坩埚底的厚度。
如上所述的大长径比旋压钼坩埚,优选,所述钼坩埚本体开口处的直径大于等于所述钼坩埚底的直径。
如上所述的大长径比旋压钼坩埚,优选,所述钼坩埚盖还包括测温孔,用于安装测温仪。
如上所述的大长径比旋压钼坩埚,优选,所述钼坩埚底的直径为Φ10-75mm。
如上所述的大长径比旋压钼坩埚,优选,所述钼坩埚侧壁的厚度为0.5-3mm。
如上所述的大长径比旋压钼坩埚,优选,所述钼坩埚的表面粗糙度Ra<1.6μm。
如上所述的大长径比旋压钼坩埚,优选,所述钼坩埚的长径比为4-5。
如上所述的大长径比旋压钼坩埚,优选,所述坩埚外沿与所述钼坩埚侧壁之间通过半径为2-10mm的圆弧连接。
与最接近的现有技术相比,本实用新型提供的技术方案具有如下优异效果:
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