[实用新型]氯硅烷渣浆回收系统

说明书

本实用新型公开了一种氯硅烷渣浆回收系统，涉及多晶硅加工技术领域，主要目的是提供一种能够提高氯硅烷的回收效率的氯硅烷渣浆回收系统。本实用新型的主要技术方案为：一种氯硅烷渣浆回收系统，包括：干燥分离部，分离单元连接于氯硅烷渣浆输送装置，固液处理单元连接于分离单元，过滤单元连接于分离单元，用于接收并过滤分离单元分离出的氯硅烷混合气体；气体处理部，淋洗鼓泡单元的一端连接于过滤单元，另一端连接于冷凝单元，冷凝单元连接于液体回收单元，液体回收单元连接于淋洗鼓泡单元和合成单元，用于分别向鼓泡单元和合成单元输送氯硅烷液体；尾气处理部，尾气处理部连接于冷凝单元，用于回收尾气。本实用新型主要用于回收氯硅烷。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅加工技术领域，尤其涉及一种氯硅烷渣浆回收系统。

背景技术

随着国内外电子信息产业的飞速发展和对新能源的巨大需求，多晶硅产品市场一直方兴未艾。在多晶硅生产工艺中，还原炉能够依靠电能将硅芯加热到1000度以上，从而产生大量的热能。

目前，在多晶硅生产过程中，冷氢化车间排放的渣浆，主要成分为氯硅烷、重杂及一些反应生成的固体颗粒，渣浆料经旋转干燥机固液气分离后，固体由螺杆泵送至水解器、经氢氧化钠溶液中和及水解后由压滤机压滤形成工业废渣，工业废渣送至固废填埋场掩埋处理，废水输送至污水处理厂处理。气体经干燥机过滤器过滤后进入冷凝器冷凝后氯硅烷液体进入氯硅烷回收罐，未被循环水冷凝器冷凝的不凝气进入尾气吸收塔进一步处理，不凝气从塔底进入，深冷后的氯硅烷从尾气吸收塔顶对不凝气进行喷淋进行吸收，被吸收后的不凝气送至废气处理系统处理后排放。但是，由于旋转干燥机对渣浆中的氯硅烷干燥蒸发不彻底，导致氯硅烷的回收率较低，氯硅烷随固体进入水解器水解，造成碱耗的增加以及废水、废渣的增加，同时造成氯硅烷的浪费，并且，被旋转干燥机蒸发后的气相氯硅烷中含有重组分硅粉及高沸物等杂质，进入到冷凝回收装置后易造成冷凝器的堵塞，需要人工及时对冷凝器进行清洗，不仅增加工人的劳动强度，还降低了生产效率。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种氯硅烷渣浆回收系统，主要目的是提供一种能够提高氯硅烷的回收效率的氯硅烷渣浆回收系统。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种氯硅烷渣浆回收系统，该系统包括：

干燥分离部，所述干燥分离部包括分离单元、固液处理单元和过滤单元，所述分离单元连接于氯硅烷渣浆输送装置，用于接收氯硅烷渣浆，所述固液处理单元连接于所述分离单元，用于接收所述分离单元分离出的固体和液体，所述过滤单元连接于所述分离单元，用于接收并过滤所述分离单元分离出的氯硅烷混合气体；

气体处理部，所述气体处理部包括淋洗鼓泡单元、冷凝单元、液体回收单元和合成单元，所述淋洗鼓泡单元的一端连接于所述过滤单元，另一端连接于所述冷凝单元，用于淋洗氯硅烷混合气体，所述冷凝单元连接于所述液体回收单元，用于冷凝氯硅烷气体，并向所述液体回收单元输送氯硅烷液体，所述液体回收单元连接于所述淋洗鼓泡单元和合成单元，用于分别向鼓泡单元和合成单元输送氯硅烷液体；

尾气处理部，所述尾气处理部连接于所述冷凝单元，用于回收尾气。

进一步的，所述干燥分离部还包括气体连通管和粉末连通管，所述气体连通管的两端分别连接于所述过滤单元和所述分离单元，用于将所述分离单元内的氯硅烷混合气体输送至所述过滤单元，所述粉末连通管的两端分别连接于所述过滤单元和所述分离单元，用于将所述过滤单元内的固体粉末输送至所述分离单元。

进一步的，分液部，所述分液部包括分液器、第一分液管和第二分液管，所述分液器连接于所述液体回收单元，所述第一分液管的一端连接于所述分液器，另一端连接于所述淋洗鼓泡单元，用于向所述淋洗鼓泡单元输送氯硅烷液体，所述第二分液管的一端连接于所述分液器，另一端连接于所述合成单元，用于向所述合成单元输送氯硅烷液体。