[实用新型]一种氮气、氩气、氧气超纯纯化系统

权利要求书

1.一种氮气、氩气、氧气超纯纯化系统，其特征在于：包含催化氧化系统、吸附系统和控制系统；所述催化氧化系统包含催化反应器、催化加热器、催化冷却器，催化反应器内部装填氧化催化剂；吸附系统包含一备一用两个吸附反应器、相应的阀门、相应的管路、再生气加热器、再生气冷却器和控制系统；所述吸附反应器装填充脱氧剂床层和镍催化剂床层；所述催化系统与原料气入口连接，催化氧化系统出口与吸附系统原料气进口连接，吸附系统出口与产品气出口连接。

2.根据权利要求1所述的一种氮气、氩气、氧气超纯纯化系统，其特征在于：所述催化反应器进气口通过原料气输入管路和阀门与原料气入口连接，吸附反应器出气口通过产品气输出管路和阀门与产品气出口连接；原料气输入管路上旁路连通再生气输出管路，再生气输出管路上安装有冷却器和阀门，再生气输出管路连通放气口；产品气输出管路旁路连接再生气输入管路，再生气输入管路上安装有加热器和阀门。

3.根据权利要求2所述的一种氮气、氩气、氧气超纯纯化系统，其特征在于：所述再生气输入管路通过管路连接氢气入口，且管路上安装有氢气入口阀。

4.根据权利要求2所述的一种氮气、氩气、氧气超纯纯化系统，其特征在于：所述阀门采用电子级高纯隔膜阀或波纹管阀。

5.根据权利要求2所述的一种氮气、氩气、氧气超纯纯化系统，其特征在于：所述控制系统包括CPU中央控制单元，CUP中央控制单元分别与流量开关、压力传感器、温度传感器、继电器、接触器、显示面板连接。