[实用新型]送膜辅助机构有效

专利信息
申请号: 201920343490.3 申请日: 2019-03-18
公开(公告)号: CN210029458U 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 谢军 申请(专利权)人: 广东思沃精密机械有限公司
主分类号: B65H23/34 分类号: B65H23/34
代理公司: 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人: 张全文
地址: 523000 广东省东莞市松*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 干膜 晶圆 辅助升降杆 上升运动 升降板 升降座 升降驱动件 辅助导辊 本实用新型 辅助固定板 辅助连接杆 辅助安装 辅助机构 距离移动 贴膜位置 移动过程 轴线方向 同步的 未使用 卷绕 膜卷 偏离
【权利要求书】:

1.送膜辅助机构,其特征在于,包括辅助安装座、与所述辅助安装座相连的辅助连接杆、与所述辅助连接杆相连的辅助固定板、贯穿所述辅助安装座且与所述辅助安装座滑动连接的辅助升降杆、与所述辅助升降杆的一端相连的辅助升降座、与所述辅助升降杆的另一端相连的辅助升降板、设于所述辅助升降座的第一辅助导辊、以及设于所述辅助固定板且用于带动所述辅助升降板沿所述辅助升降杆的轴线方向运动的辅助升降驱动件。

2.根据权利要求1所述的送膜辅助机构,其特征在于,所述第一辅助导辊与所述辅助升降座转动连接。

3.根据权利要求1所述的送膜辅助机构,其特征在于,所述辅助安装座开设有第一辅助让位孔,所述辅助升降杆贯穿所述第一辅助让位孔。

4.根据权利要求3所述的送膜辅助机构,其特征在于,所述第一辅助让位孔内设有辅助直线轴承,所述辅助直线轴承套设于所述辅助升降杆的外壁。

5.根据权利要求1所述的送膜辅助机构,其特征在于,所述辅助升降板开设有第二辅助让位孔,所述辅助连接杆贯穿所述第二辅助让位孔。

6.根据权利要求1所述的送膜辅助机构,其特征在于,所述辅助升降驱动件为气缸。

7.根据权利要求1所述的送膜辅助机构,其特征在于,所述辅助固定板上设有安装竖杆,所述安装竖杆上设有若干位置传感器,所述辅助升降板上设有用于触发所述位置传感器的辅助触发片。

8.根据权利要求1-7任一项所述的送膜辅助机构,其特征在于,所述辅助升降座上设有第二辅助导辊,所述第二辅助导辊与所述辅助升降座转动连接。

9.根据权利要求1-7任一项所述的送膜辅助机构,其特征在于,所述辅助升降座上设有相对设置的两个拉平组件,所述拉平组件包括设于所述辅助升降座的拉平导轨、与所述拉平导轨滑动连接的拉平滑块、用于驱动所述拉平滑块滑动的拉平驱动件、设于所述拉平滑块的拉平气缸、与所述拉平气缸的活动端相连且与所述第一辅助导辊相配合的拉平压板。

10.根据权利要求9所述的送膜辅助机构,其特征在于,所述拉平压板与所述第一辅助导辊相接触的面具有拉平凹槽,所述第一辅助导辊设有与所述拉平压板相接触的拉平柔性件。

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