[实用新型]磨角机有效
申请号: | 201920342455.X | 申请日: | 2019-03-11 |
公开(公告)号: | CN209533056U | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 王志达;袁守良;钮立君 | 申请(专利权)人: | 吉林华微电子股份有限公司 |
主分类号: | B24B31/10 | 分类号: | B24B31/10;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/22;B24B47/12;B24B31/12 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 肖苏宸 |
地址: | 132013 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 驱动组件 安装盘 磨角机 上磨头 本实用新型 驱动 测量 半导体器件芯片 磨料 弹性组件 轴线旋转 轴线转动 盘绕 载板 升降 制造 保证 | ||
1.一种磨角机,其特征在于,所述磨角机包括上磨头、安装盘、弹性组件、第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件;
所述安装盘上固定有磨料载板,所述安装盘与所述第一驱动组件连接,所述第一驱动组件能够驱动所述安装盘绕其轴线旋转;
所述上磨头安装在所述安装盘的上方,所述上磨头设置有夹具,所述夹具用于夹持待磨样片;所述上磨头分别与所述第二驱动组件和所述第三驱动组件连接,所述第二驱动组件能够驱动所述上磨头绕其轴线转动;且所述第三驱动组件能够驱动所述上磨头上下升降,以实现所述上磨头靠近或远离所述安装盘;
所述弹性组件连接在所述上磨头上,所述弹性组件使得所述上磨头具有面向所述安装盘移动的趋势。
2.根据权利要求1所述的磨角机,其特征在于,所述磨角机还包括底座,所述第一驱动组件、所述第二驱动组件、所述第三驱动组件及所述安装盘分别设置在所述底座上;
所述上磨头通过所述第二驱动组件悬挂固定。
3.根据权利要求2所述的磨角机,其特征在于,所述第一驱动组件包括第一电机、传动带、传动齿轮以及传动槽轮;
所述安装盘设置有旋转轴;
所述第一电机通过电机架固定在所述底座的第一端,所述传动带的一端通过传动齿轮与所述第一电机的输出轴连接,所述传动带的另一端通过传动槽轮的与安装盘的旋转轴连接;
所述安装盘设置在所述底座的第二端。
4.根据权利要求3所述的磨角机,其特征在于,所述底座包括安装面,所述安装盘安装在所述安装面的第二端的上方,所述电机架、第一电机、旋转轴、传动齿轮以及传动槽轮分别设置在所述安装面的下方。
5.根据权利要求4所述的磨角机,其特征在于,所述第二驱动组件和所述第三驱动组件通过支撑架固定在所述底座上;
所述支撑架包括设置在底座第一端的主轴、与主轴连接的悬臂以及连接在悬臂一端的第三安装板,所述悬臂对应所述第三安装板的一端向下延伸有第二安装板;
所述第三驱动组件固定在所述第三安装板上,所述第二驱动组件滑动连接在所述第二安装板上;
所述第三驱动组件的动力输出端能够与第二驱动组件连接,并驱动第二驱动组件与所述上磨头同步上下运动。
6.根据权利要求5所述的磨角机,其特征在于,所述第二驱动组件包括第二电机,所述第二电机通过轴承套与第二电机的输出轴连接,所述第二电机的输出轴与所述上磨头通过所述弹性组件上下连接固定;
所述第二电机的轴承套滑动连接在所述第二安装板上。
7.根据权利要求6所述的磨角机,其特征在于,所述第二电机的轴承套上固定连接有滑块导轨,所述第二安装板设置有上下延伸的导向槽;
所述滑块导轨与所述导向槽适配,且所述滑块导轨滑动设置在所述导向槽内。
8.根据权利要求5所述的磨角机,其特征在于,所述第三驱动组件包括气缸,所述气缸的输出杆与所述第二驱动组件连接。
9.根据权利要求1-8任一项所述的磨角机,其特征在于,所述安装盘上设置有挡圈,所述挡圈设置在所述磨料载板的下方。
10.根据权利要求1-8任一项所述的磨角机,其特征在于,所述磨料载板为玻璃板,所述玻璃板通过第一压板固定在所述安装盘上。
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