[实用新型]一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置

权利要求书

1.一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其搭载于磨削机床(1)上，所述磨削机床(1)为X/Y/Z三正交直线轴磨削机床；其特征在于，包括：

倾角调节装置(6)，所述倾角调节装置(6)放置在所述磨削机床的工作台(2)上，并位于待测非球面光学元件(3)一侧，所述倾角调节装置(6)的上端面为倾斜面，所述倾斜面与所述待测非球面光学元件(3)待测轮廓的最高点至最低点连线平行；

平面标准镜(7)，所述平面标准镜(7)固定在所述倾斜面上；

及位移传感器组件(8)，所述位移传感器组件(8)固定在所述磨削机床的主轴箱体(9)上，其上具有位移传感器一(4)和位移传感器二(5)，所述位移传感器一(4)位于所述待测非球面光学元件(3)待测轮廓的上方，所述位移传感器二(5)位于所述平面标准镜(7)的上方；所述位移传感器一(4)和所述位移传感器二(5)通信连接数据处理系统。

2.根据权利要求1所述的一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述倾角调节装置(6)包括斜板(60)、连接销(61)、连接部、调节螺杆(62)、调节螺母(63)及底板(64)；

所述底板(64)的一端通过销轴(65)与所述斜板(60)的一端铰接；所述调节螺母(63)转动连接在所述底板(64)上，且靠近所述底板(64)另一端设置；

所述连接部设置在所述斜板(60)的另一端，且其上具有沿着斜板(60)倾斜方向开设且可供所述连接销(61)穿设其内，且可沿其长度方向滑动的长条形滑槽或/和长孔；所述调节螺杆(62)的上端与所述连接销(61)固定连接，下端与所述调节螺母(63)螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述连接部为连接在所述斜板(60)另一端且间隔布置的第一连接板(66)和第二连接板(67)，所述连接销(61)通过所述长条形滑槽或/和长孔依次连接所述第一连接板(66)、所述调节螺杆(62)及所述第二连接板(67)。

4.根据权利要求3所述的一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述第一连接板(66)上开设有长条形孔(68)，所述第二连接板(67)靠近所述第一连接板(66)一侧开设有长条形槽(69)，所述连接销(61)端部依次穿过所述长条形孔(68)和位于所述第一连接板(66)和所述第二连接板(67)之间间隙的所述调节螺杆(62)上端插入所述长条形槽(69)内。

5.根据权利要求2所述一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述底板(64)上具有锁止凸台(641)，所述调节螺母(63)的底部具有与所述锁止凸台(641)适配套接的凹槽。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述位移传感器组件(8)还包括水平滑轨、两个滑块(83)和两个传感器安装部(84)；

所述水平滑轨安装在远离所述主轴箱体(9)的一侧；

所述两个滑块(83)间隔滑动套设在所述水平滑轨上；

所述两个滑块(83)远离所述水平滑轨的一侧分别竖直安装有调节螺栓(85)；所述两个传感器安装部(84)分别一一对应螺纹连接在调节螺栓(85)上，所述位移传感器一(4)和所述位移传感器二(5)一一对应安装在所述两个传感器安装部(84)上。

7.根据权利要求6所述的一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述水平滑轨包括安装板(81)和导轨(82)，所述安装板(81)固定在所述主轴箱体(9)上，所述导轨(82)固定在所述安装板(81)上；所述两个滑块(83)间隔滑动套设在所述导轨(82)上。

8.根据权利要求7所述的一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述主轴箱体(9)的一端固定有安装架(10)，所述安装板(81)磁性吸附在所述磨削机床(1)的安装架(10)上。